電子産業・半導体産業向けの超高出力紫外線酸化装置！ppbオーダーのTOC低減に対応！
半導体産業で使用される水は、ますます高純度化され、 超純水中の有機物(TOC)濃度に対する要求値も厳しく なっております。 『CXシリーズ』は、高出力低圧水銀ランプから発生する 真空紫外線(184.9nm)を効率よく照射し、水中の有機物を 酸化分解する超高出力紫外線酸化装置です。 ppbオーダーのTOCを低減させるのに適しています。 【特長】 ・半導体業界で使用される超純水製造に必要な紫外線酸化装置 ・184.9nm真空紫外線で水中の有機物を酸化分解 ・ppbオーダーのTOC低減により超純水の高純度化が可能 ・半導体や液晶パネル製造の歩留まり向上プロセスに有用 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【仕様(一部)】 ■ランプ本数：3、4,6、8、12、16、20、24、28、32、36、40 ■ランプ寿命：連続点灯で9000時間 ■最大使用圧力：1MPa ■入力電圧：AC200V±10％ 50/60Hz共用 ■接液部材質/仕上がり：SUS316L 内外面酸洗 ■起動方法：単動/連動 ■機種選定：TOC濃度、処理流量により機種選定を実施 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体産業 ■電子産業 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
当社は、国内でいちはやく紫外線殺菌装置の有用性を認識し、 従来の加熱や薬品処理では不可能であった分野における新しい殺菌手段 として、水の紫外線殺菌装置を開発して以来長年、お客様のご要望に お応えできる製品の開発に努めております。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。
