温度管理、廃液選択機能が搭載！多目的処理装置
温度管理、廃液選択と様々な機能を付加可能(写真はテフロン+PVCボディー) =============================================== ＜仕 様＞ ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ8インチ エッチング液…酸、アルカリタイプ オプション…廃液選択２〜４液、薬液用ノズル等 電源…AC100v or 200v CDA…0.5MPA.以上 DIW.…0.2MPA.以上 その他
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基本情報
温度管理、廃液選択と様々な機能を付加可能(写真はテフロン+PVCボディー) =============================================== ＜仕 様＞ ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ8インチ エッチング液…酸、アルカリタイプ オプション…廃液選択２〜４液、薬液用ノズル等 電源…AC100v or 200v CDA…0.5MPA.以上 DIW.…0.2MPA.以上 その他
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企業情報
前工程(フォトリソ関連)装置各種、マニュアル式のスピンコーター(Si、液晶ガラス、化合物 他)など、試験研究用の装置から生産用自動装置各種を設計、製造、販売しております。 [半導体・液晶用試験研究開発、生産関連機器] 各種洗浄機（ウェット、ドライ）、スピンコーター、マスクアライナー、現像・エッチング装置、各種真空装置、プローバー、膜厚測定用ドリラー など