4inchウエハー対応用ナノインコーター(離型剤塗布装置)
本装置は、最大4inchウエハー基板を離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。 処理は1ワークずつ行います。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。
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基本情報
【主仕様】 1.ストローク 140mm 2.対象サイズ 4inch 3.対象材質 ウエハー 4.ディップ速度 0.1mm/secから10mm/sec 5.塗布液循環部 無 6.塗布液温度管理 無 7.フィルターメッシュ 無 8.乾燥部 無 9.乾燥温度 無 10.ヘパユニット 無 11.装置サイズ(概寸) W:450×D:670×H:685mm
価格情報
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納期
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用途／実績例
4inchウエハー基板への離型剤塗布
ラインアップ（3）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| NIC-1109G | |
| NIC-0809 | |
| NIC-1103 |
カタログ（7）
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企業情報
【経営理念】 顧客満足度NO1企業であれ 【モットー】 人は一瞬で変われる! 全ては今から!