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最終更新日:2006年11月06日

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非接触ウエハソーティングシステム【NC-3000R】

ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。 抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。 その他製品ございますので、詳細はお問い合わせ下さい。

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【ロボット搬送による非接触ウエハソーティングシステム】 ◆シリコンウエハの抵抗・厚さ・P/Nタイプを非接触センサーで測定 ◆標準カセット数:7(ローダー/アンローダー合計、各カセット数は任意に設定可能) ●対象ウエハサイズ:12インチ(または、6インチ&8インチ)

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