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真空容器事例「小型実験用チャンバー」

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最終更新日:2010年10月01日

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真空容器事例「小型実験用チャンバー」

真空容器製作事例 《フレキシブルな受注範囲》 チャンバーだけでなくプラズマ電源、スパッタターゲット、回転導入機構等を含む ユニットとしての対応が可能 《幅広い製作範囲》 材料(SUS,Al,Ti他)、形状(角型、筒型、水冷他) 《グレードに応じた表面処理》 1、酸洗浄:低コスト 2、電解研磨:SMC洗浄、サスピカ、アルピカの高グレード対応可能 3、バフ研磨、各種めっき、アルマイト処理 4、ベーキング 《検査内容》 浸透探傷検査、ヘリウムリークテスト、放出ガス測定、加圧テスト、寸法・外観その他 《短納期対応》 標準的なチャンバーであれば1ヶ月程度 《品質保証》 《低コスト》 必要な仕様に対応する適切な設計によるコスト低減 【制作例】 小型実験用チャンバー、実験用チャンバー、中性子加速器用チャンバー Ar雰囲気溶接用グローブボックス、液晶製造装置用チャンバー、蒸着装置用チャンバー など、実績はございますのでご相談ください。

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真空容器事例「小型実験用チャンバー」

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真空容器製作事例 《フレキシブルな受注範囲》 チャンバーだけでなくプラズマ電源、スパッタターゲット、回転導入機構等を含む ユニットとしての対応が可能 《幅広い製作範囲》 材料(SUS,Al,Ti他)、形状(角型、筒型、水冷他) 《グレードに応じた表面処理》 1、酸洗浄:低コスト 2、電解研磨:SMC洗浄、サスピカ、アルピカの高グレード対応可能 3、バフ研磨、各種めっき、アルマイト処理 4、ベーキング 《検査内容》 浸透探傷検査、ヘリウムリークテスト、放出ガス測定、加圧テスト、寸法・外観その他 《短納期対応》 標準的なチャンバーであれば1ヶ月程度 《品質保証》 《低コスト》 必要な仕様に対応する適切な設計によるコスト低減 【制作例】 小型実験用チャンバー、実験用チャンバー、中性子加速器用チャンバー Ar雰囲気溶接用グローブボックス、液晶製造装置用チャンバー、蒸着装置用チャンバー など、実績はございますのでご相談ください。

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用途:半導体・液晶製造設備、加熱炉、中性子加速器、凍結乾燥機、リークテスト装置、産業用製膜装置他

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コスモ・サイエンスの真空容器製作例

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スパッタ、蒸着、有機EL、太陽電池、メタライジング、CVD、凍結乾燥等各種真空装置の組立作業を通し、真空に関する知識・経験豊富な作業員が多数居ます。ガス配管はクリーンルーム内に設置したクリーン溶接室にて製作しています。また、設置先での二次側接続配管の現地取付のほか電気配線用ラダー設置工事も請負っております。

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