重ね合わせ装置やシール剤塗布装置と窒素置換容器、特型GBの設計・制作
半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の設計・製作を行っております。装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。排気セット等のユニット単位での設計製作も行っております。また、各種実験補助設備の設計や真空設計の応用に豊富な経験があり、仕様検討の段階よりお手伝いさせていただきます。
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基本情報
【製品】 蒸着膜形成装置 ・各種金属/有機物蒸着膜形成・物性の評価用・薄膜形成・膜厚強度(強化)・温度制御 ・ドーピング・材料研究評価用 【製作例】 ・実験装置設計製作(カスタム仕様)・実験装置改造設計製作(カスタム仕様) ・不活性ガス環境装置・真空乾燥装置(加熱/冷却) ・グローブボックス対応装置(高純度雰囲気室＋真空チャンバ) ・各種精製機の設計製作 【各種ＦＡ関連装置】 ・真空室内可動装置・大気/真空/グローブボックス室関連装置 ・有機ＥＬ、ＦＰＤ、太陽電池、他設備の設計製作 【図面支給による製作】 ・部品加工、購入、組立、調整、検査、据付調整 ・量産装置向け組立、調整、検査、据付調整 【半導体プロセス応用製品】 ・実験用蒸着装置・有機ＥＬ蒸着基板用実験装置・スパッタ装置(実験設備/生産設備)・ＣＶＤ装置(実験設備/生産設備)・成膜装置(実験設備/生産設備) 【真空対応製品の設計・製作】 ・各種配管・各種フランジ応用製品・真空室内用応用部品の設計製作 【現地工事】 ・工場内配管工事・装置ユーティリティー工事
価格情報
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企業情報
スパッタ、蒸着、有機ＥＬ、太陽電池、メタライジング、ＣＶＤ、凍結乾燥等各種真空装置の組立作業を通し、真空に関する知識・経験豊富な作業員が多数居ます。ガス配管はクリーンルーム内に設置したクリーン溶接室にて製作しています。また、設置先での二次側接続配管の現地取付のほか電気配線用ラダー設置工事も請負っております。