水素、ヘリウムに対応した小形流量コントローラ
流量センサ機能・比例制御機能・バルブ機能をユニット化し、必要な流量のコントロールをする機器です。 IO-Linkにも対応し、工場の更なるIoT化に貢献します。 【特 長】 ・シリンコンマイクロマシニングを応用した白金センサチップ採用で 0.5secの高速制御が可能 ・デジタル表示器搭載で制御状態が一目で確認できます ・高信頼の流量制御特性（再現性；±1％FS／精度；±3％FS） ・空気、窒素、アルゴン、酸素、メタン、プロパンと多種流体に対応 ・RoHS指令に対応 ・パラレル入力タイプを標準で用意
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基本情報
流量センサ機能・比例制御機能・バルブ機能をユニット化し、必要な流量のコントロールをする機器です。 IO-Linkにも対応し、工場の更なるIoT化に貢献します。 【適応流体・流量範囲】 空気、窒素：0.015~50ℓ/min アルゴン：0.015~50ℓ/min 酸素、都市ガス、メタン、プロパン：0.015~10ℓ/min 水素、ヘリウム：0.06~20ℓ/min
価格帯
納期
用途／実績例
ワイヤーボンディング、ガラス浮上搬送、食品充填包装、パージガス流量管理、バーナー火力制御管理、溶接用アルゴンガス流量管理など
詳細情報
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【システム異常検知（予知保全）】 センサ・電磁比例弁の劣化を検知する自己検知に加え、周辺システムも含めた異常を検知します。IO-Linkで警告信号の出力が可能。
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【制御状態が一目でわかるデジタル表示器搭載】 流量値を3桁でデジタル表示。 エラー表示の他、出力状態（スイッチ出力ON-OFF）を表示。
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【0.5秒の高速制御】 シリコンマイクロマシニングを応用した白金センサチップの採用で、0.5secの高速制御が可能。
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【RS-485通信追加】 産業用ネットワーク通信として信頼性の高いRS-485に対応。 【IO-Link対応】 IO-Link通信によってデータ収集に加えて上位からの遠隔操作が可能。
カタログ（7）
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企業情報
自動車・家電・半導体など、あらゆる産業分野の自動化に貢献するリーディングカンパニーです。 事業は大きく２つに分かれます。 【自動機械装置の開発・製造・販売・輸出】 蛍光灯やバックライトなどの照明製造システム、薬品や食品などの自動包装システム、コンデンサやリチウムイオン電池などの製造システム、画像処理を使った三次元はんだ印刷検査機など。 【機能機器の開発・製造・販売・輸出】 さまざまな機械や生産ラインに使われる各種パーツ・空気圧機器、流体制御機器、半導体関連機器、省力機器など。