薬液・純水供給部の圧力変動をパイロットエアコントロールにより安定化可能。電空レギュレータとの組合せで遠隔操作による設定圧変更可能
■特 長 【高精度・高速応答】 ダイアフラム構造の高精度圧力安定性・高速応答対応。 滞留部の少ない流路構造で置換特性向上。 接液部オールフッ素樹脂で高クリーンレベル・高耐食性。 【圧力変動低減】 ダイヤフラムポンプからの脈動などを抑止可能。 生産品やレシピの違いにより遠隔で設定圧力を変更することも可能。 【小型ラインナップ追加】 接続口径1/4"、3/8"に省スペースタイプPMP002 Seriesを追加。
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基本情報
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価格情報
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納期
用途／実績例
半導体製造装置
詳細情報
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アプリケーション例 安定吐出（圧力・流量）
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アプリケーション例 分岐流量均一化
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アプリケーション例 遠隔流量設定
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この製品に関するニュース（1）
企業情報
自動車・家電・半導体など、あらゆる産業分野の自動化に貢献するリーディングカンパニーです。 事業は大きく２つに分かれます。 【自動機械装置の開発・製造・販売・輸出】 蛍光灯やバックライトなどの照明製造システム、薬品や食品などの自動包装システム、コンデンサやリチウムイオン電池などの製造システム、画像処理を使った三次元はんだ印刷検査機など。 【機能機器の開発・製造・販売・輸出】 さまざまな機械や生産ラインに使われる各種パーツ・空気圧機器、流体制御機器、半導体関連機器、省力機器など。