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非接触チャック「フロートチャックWA型」

最終更新日:2021年04月13日

有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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空気消費量が従来の1/3のベルヌーイチャック

非接触にてワークを搬送する。 空気消費量が従来の1/3である。 保持力が強力である。 保持安定性に優れている。

    その他半導体製造装置プラズマ発生装置チャック
wa-2cMac-tec.jpg

非接触チャック「フロートチャックSA型」

wa-2cMac-tec.jpg
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基本情報

気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを無接触あるいは非接触状態にて懸垂保持し、搬送する。ベルヌーイチャックである。新開発の非接触パッド「フロートチャックSA型シリーズ」は従来品に比し空気消費量が1/3である。

価格情報

-

納期

~ 1週間

用途/実績例

非接触チャック「フロートチャックSA型}気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを無接触あるいは非接触状態にて懸垂保持し、搬送する。ベルヌーイチャックである。新開発のSA型シリーズは従来品に比し空気消費量が1/3である。 ◎実績 半導体ウエハ 液晶ガラス レンズ セラミック基板 金属板 他

企業情報

有限会社ソーラーリサーチ研究所

有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

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当社にて発明、開発した垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」(特許)を用いたウエハ、液晶ガラス基板、PDP、セラミック、プリント基板、FPC基板、フィルム、紙、布等の非接触搬送装置および応用装置の製作。

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