プローバー用導電性ナノプローブ
！！傾斜角が小さく多探針用に有利な先端形状！！ 隣接するプローブが鋭角で接近した場合にプローブ同士が接触しないことに考慮した傾斜角が小さいプローブ形状を有しています。 ！！サンプルとのソフトな接触が可能＊1 ！！ 表面が白金イリジウムで構成されているPtIr コーティングタングステンプローブおよび、白金イリジウムプローブでは、酸化膜が表面に介在しないため、接触の際に速やかに導電性を得ることが可能であり、これによりサンプルとプローブの損傷を最小に抑えることが出来ます。 またニッケルプローブについても白金イリジウムプローブと同様に低接触抵抗で接触の際に速やかに導電性を得ることが可能です。 ＊1：タングステンプローブ P-100WP を除く
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基本情報
マイクロおよびナノスケールでの多探針を用いたサンプル表面へのプロービングは、半導体デバイスの故障解析のための表面電気特性測定等、半導体デバイスの研究開発および生産の分野で活用されています。近年、デバイス構造の微細化に伴い、検査用プローブの先鋭化、表面酸化膜の抑制などプローブに要求される仕様も高まっています。また、このようなプローブはナノバイオ分野等など多様な分野でニーズが高まってきております。 当社はそれらのニーズに応えるため、各種用途に応じた接触検査用ナノプローブを開発いたしました。 ニッケルプローブの金、銀等のコーティングも特注にて承っております。
価格情報
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納期
用途／実績例
低接触抵抗、マイルドな接触測定向けの測定や幅広い接触測定向け、接触抵抗を気にしない測定向けにも対応したプローブを各種ご用意いたしております。
ラインアップ（2）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| P-100PtIr(P) | 【白金イリジウムプローブ】 低接触抵抗、幅広い接触測定向け 針先形状: 円錐形 線径: 0.5 mm dia. 先端曲率半径: 20 nm 以下 多結晶白金イリジウム |
| P-100WP | 接触抵抗の影響が少ない測定向け 針先形状: 0.25 mm dia. 35 nm以下 多結晶タングステン |
企業情報
ユニソクは、ユニークな測定機器のクリエーターをめざして1974年に発足しました。主に超高真空型の走査型プローブ顕微鏡(SPM)を自社開発し大学、公的機関、及び民間企業や研究所に販売しているメーカーです。長年に渡って高速分光測定装置や走査型トンネル顕微鏡等、先端的な測定機器の開発、製品化を行い国内及び海外の大学や研究機関に納入し、その技術内容は基礎研究分野の研究者から高い評価を得ております。近年、走査型プローブ顕微鏡は、特に試料表面の原子レベルでの観測手段として、近年、著しく高性能化、多機能化が進んでいます。その用途も主に物理学分野から化学、バイオ関連分野に広がりつつあり、まさにナノテクノロジー、ナノサイエンスに欠かせないツールだと言えます。