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両面同時スクラブ洗浄装置(超音波併用) DSS-320

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DSS-320

最終更新日:2010年10月01日

スピードファムクリーンシステム株式会社
スピードファムクリーンシステム株式会社
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両面同時スクラブ洗浄装置(超音波併用) DSS-320

高密度特殊ブラシ採用! 両面同時!超音波併用スクラバー ■□■特徴■□■ ■スクラブを水中で行う事で、ブラシへの汚染の蓄積を防止 ■基板に汚れが再付着しない浸漬スクラブ方式 ■0.1mm〜1mmまで段取替不要 ■スクラブ+超音波のダブル洗浄 ■カセットtoカセット方式採用 ■適応ワーク   Φ3”〜6”Φ、0.1mm〜1mm角、丸 ■その他機能や詳細については、カタログダウンロード   もしくはお問い合わせ下さい。

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両面同時スクラブ洗浄装置(超音波併用) DSS-320

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基本情報

高密度特殊ブラシ採用! 両面同時!超音波併用スクラバー ■□■特徴■□■ ■スクラブを水中で行う事で、ブラシへの汚染の蓄積を防止 ■基板に汚れが再付着しない浸漬スクラブ方式 ■0.1mm〜1mmまで段取替不要 ■スクラブ+超音波のダブル洗浄 ■カセットtoカセット方式採用 ■適応ワーク   Φ3”〜6”Φ、0.1mm〜1mm角、丸 ■その他機能や詳細については、カタログダウンロード   もしくはお問い合わせ下さい。

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■□■用途■□■ ■水晶・酸化物・化学物デバイスウェハーの   各工程間洗浄 ■光学ガラス・各種マスクの洗浄

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お客さまのニーズに応える! いま、先進するデジタル家電。 その心臓部とされるのがFPDやHDDであり、 製造工程において、最も重要な課題が「洗浄」であります。 わたしたちは、卓越した洗浄テクノロジーをもって 信頼性の高い洗浄装置を開発し、 最先端技術で精密洗浄に寄与してまいります。

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