少量生産、研究開発向け装置 |φ２”~φ12”ウェハのスクラブ洗浄と薬液スピン洗浄テストをお受け出来る環境を来春までに準備中！
各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇ シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇ Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、 各種ウェハに対応 ◇ 異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇ 洗浄項目・装置構成の変更に柔軟に対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
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基本情報
＜ 洗浄工程 ＞ ・ 界面活性剤・純粋スクラブ洗浄 ・ 薬液スプレー ・ メガソニックスポットシャワー ・ スピン乾燥 ＜ 洗浄対象物 ＞ 各種ウェハ ・ Si(シリコン） ・ 石英 ・ 酸化物 ・ 化合物等 ＜ 対応ウエハ口径 ＞ ・ φ2”～φ4” ・ φ6”～φ8” ＜ その他 ＞ 単機能のスクラブ洗浄装置、薬液の使用、 ドライ・ウェットのローダー・アンローダー付タイプ、 複数チャンバータイプなど、ご予算・ご要望に応じて対応致します。 洗浄方法についてのご相談など、お気軽にご相談ください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■各種ウェハー洗浄
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企業情報
EXTENSIVE VISION ON SYSTEM （幅広い視野に立ったシステム構築） を目的として、独自性の高い製品を作るという意味から名づけられました。 現在の技術革新には目覚ましいものがあり、時代の要求は常に高度なものになっております。熟成化された今の装置産業に革命を起こすべく、常に他社との差別化をなした装置の提案を行い、産業界に貢献する会社であることが我々の使命だと考えております。
