量産向け新型【自動スクラブ洗浄装置】と、シリーズ累計200台以上の【フォトマスク洗浄装置】を御紹介します。
《１》【W-スピンスクラブ自動処理装置】 ◆量産向けの最新型「自動スクラブ洗浄装置」です。 ◆ハイスループット 且つ高信頼性にフォーカスした機種です。 ◆「CMP後や研磨後洗浄」「受け入れ洗浄」「Final洗浄」等に好適！ ◆「反転機能」「ブラシ押込み量設定機能」「CO2イオナイザー」等々 豊富なオプションに対応可能です。 ◆各種カスタマイズにも対応します。 《２》【フォトマスク洗浄装置】 ◆マスクサイズに応じてのシリーズ対応した装置です。 ◆シリーズ累計200台以上のロングセラー機種です。 ◆国内マスクでは業界シェア90％以上の豊富な実績！ ◆デバイスメーカー各社様にも多数台の実績有ります。 ◆「コンタクト露光時に密着したレジスト除去」にも多数台の実績！ ※PDF資料をダウンロードいただくか、気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
＊各種デバイスの製造プロセスに精通した技術集団の元、創立以来長年にわたり蓄積された各種ノウハウに裏打ちされた顧客先様の多様なニーズに対応した特徴のあるウェット系処理装置のカスタム開発・製造・販売、そしてアフターフォローまでの一貫した自社活動を行っております。 ＊顧客先様ニーズに合わせ、プロセス提案もしながら最適なシステム装置を製造・販売いたします。 ＊弊社はバッチ（ウェットステーション）、枚葉（コンベアー、スピン）等々、各種装置形態に精通しており実績も多々ございますが、特にSpin枚葉系の装置に大きな特徴があります。 ＊「特許」や「商標」を取得成立し、他社に真似ができないことは勿論、多種多様の特長が多々ある《Spin Dipプロセッサー》と《UDSプロセッサー》にワールドワイドの注目が集まっております。
