ウェーハ温度分布計測に必要不可欠なツール
カスタマイズ製品。ウェーハサイズ５・８・１２インチ，熱電対センサ点数１・５・９点，絶縁被覆テフロン・アルミナ繊維・石英など各仕様を選択することが可能。標準以外の仕様も製作可能。 【特徴】 ○全製品に試験成績書（無料）を添付 ○定期校正も可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○半導体製造装置の開発・プロセス条件出しや温度分布計測に必要不可欠な 熱電対付きシリコンウェーハを温度計測器専門メーカの安立計器がご提供 ○引張荷重200g以上という高強度な熱接点固定部を実現 ○熱電対の経年変化による精度ズレの影響を最小限に抑えることで再現性を向上 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
価格情報
18万〜54万円 お問い合わせ下さい。
納期
~ 1週間
※お問い合わせ下さい。
用途／実績例
【用途】 ○半導体製造前工程におけるウェーハの温度計測 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
カタログ（1）
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企業情報
温度を測るなら安立計器。10000種類以上の温度センサを持つ。表面温度計測のパイオニアから温度計測のトータルプランナーへ、温度計測器の専門メーカです。 安立計器は「信頼」を背景に皆で未来を語り、その実現に向かって一歩一歩、確実に歩みを進める企業を目指します。