ウェハー 一括移し替え器
簡単操作でイージーハンドリング！ ウェハーをカセットから別のカセットへ移送することができます。 〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜 ■操作が簡単！ ガイドに従ってレバーが動きますので、簡単な操作によりウェハーを移送することができます。 ■底抜けなしタイプも対応！ カセットの底抜けなしタイプについては、中間切り替え位置を変えることで受取り可能です。 ■ウェハーにやさしい！ ウェハーを持ち上げて移送しますので、薄型ウェハーでも傷つけません。 また、二ヶ所のネジを緩めることによりウェハーの高さを調節できます。 ※薄厚の混合は不可 ■裏表反転移送が可能！ カセットは上下どちらにもセットできますので、カセットに対してウェハーを裏表どちらにもセットすることができます。 〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜 ※その他機能や使用画像はダウンロードカタログに記載しております。 ※お気軽にダウンロードのうえ、ご覧くださいませ。
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基本情報
簡単操作でイージーハンドリング！ ウェハーをカセットから別のカセットへ移送することができます。 〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜 ■操作が簡単！ ガイドに従ってレバーが動きますので、簡単な操作によりウェハーを移送することができます。 ■底抜けなしタイプも対応！ カセットの底抜けなしタイプについては、中間切り替え位置を変えることで受取り可能です。 ■ウェハーにやさしい！ ウェハーを持ち上げて移送しますので、薄型ウェハーでも傷つけません。 また、二ヶ所のネジを緩めることによりウェハーの高さを調節できます。 ※薄厚の混合は不可 ■裏表反転移送が可能！ カセットは上下どちらにもセットできますので、カセットに対してウェハーを裏表どちらにもセットすることができます。 〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜 ※その他機能や使用画像はダウンロードカタログに記載しております。 ※お気軽にダウンロードのうえ、ご覧くださいませ。
価格情報
お客様の仕様に合わせられます。 お打ち合わせのうえ、都度お見積りさせていただきます。
納期
※仕様によって異なります。 お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例
●カセット お客様ごとの専用カセットに合わせられます。 保持している材料は、ＭＣナイロン（耐摩耗樹脂）で静電対策材料です。 ●本体材料 錆びない材料を使用し、アルミの場合は無電解ニッケル（電導性、表面硬度処理）メッキを施し、クリーンルームに最適です。 ●製品載せアーム 出来るだけ接触面積を考慮した構造です。 ●外観カバー オールステンレス製でヘアーライン素材を使用しています。 ●外形 作業机内に設置できる大きさで、省スペース型です。 ●帯電防止対策 クリップ付きアースケーブルを付属します。 ●動く部分 安全性を考慮しカバーリングされています。 摩擦による発塵が無いように鋼球を使用したガイドレール、リニアモーションベアリングなどを使用しています。 [用 途] 半導体製造工程の中間ハンドリング用として使用 [外形寸法] ２３５Ｄ×８４０Ｗ×３３２Ｈ mm [本体重量] ３０Ｋｇ [カセット仕様] オプション ※今回使用（スパッター専用カセット〜標準カセット）
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企業情報
サンワハイテックは、お客様のアイデアをカタチにするモノづくり集団です！ 半導体製造装置やエレキの機械設計・加工・シーケンス制御や品質管理・技術者人材派遣までトータル的にサポートします。 ＷＥＢサイトでは、ご参考資料として、機械設計や受託製造で制作した、半導体製造装置やエレキ・治工具などの開発品などご紹介しております。 貴社のアイデアをお気軽にお問合わせくださいませ。