マイクロスキャニングステージ
1.薄型・軽量・大移動量の顕微鏡搭載用XYステージ。 2.顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。 3.オリンパス、ニコンの顕微鏡に搭載可能（標準で取り付けられない場合アダプタ使用）。 4.ボールねじとクロスローラガイドの使用で高精度。 5.原点センサを標準で装備。 6.標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応。 7.ウェハホルダ、ガラスプレート、アルミプレートなどオプション品も充実。お客様仕様で特注品も対応いたします。
