インライン型ウェハー測定モジュール
インラインでのウェハー/セルの全数検査、ソーティングが可能です。
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基本情報
結晶系太陽電池向け品質管理、製造歩留向上のためのインライン全自動ウェハー測定モジュールです。 搬送用ベルト上でノンストップにてライフタイム、比抵抗/厚さ、シート抵抗を測定します。
価格情報
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納期
用途／実績例
結晶太陽電池ウェハーの出荷前検査、受入れ検査 n拡散後のシート抵抗測定等
企業情報
Semilabは、世界の最先端技術の研究、製造をサポートする総合測定装置メーカーです。 半導体ウェハーからデバイスの検査に、非接触CV測定装置、ライフタイム測定装置、分光エリプソメーター、フォトルミネッセンス、DLTSシステム、シート抵抗測定装置、ナノインデンター、AFMなどを取り扱いしています。 装置の仕様や価格などお気軽にお問合せ下さい。
