耐腐食性、耐高温性、長寿命設計の成型ベローズ
真空機器（特に半導体製造装置）の各種可動部分及び、 バルブの軸シールに使用するベローズとしてハステロイ (R)C22を用いた成形ベローズを規格化しました。 ■耐腐食性に優れている ・他のNi-Cr-Mo合金に比べて優れた耐食性を有します。 ・Cl2、HBrガスに対しても応力腐食割れを防止します。 ■高温強度を有する ・650℃に於いてSUS316Ｌの常温引張強さ、0.2%t耐力等よりも優れております。 ■長寿命設計可能 ・成形ベローズでの10(６乗)寿命の設計が可能となりました。 ・従来より更に使用時寸法が短くなりコンパクト設計が可能となります 詳細は『ダウンロード』よりご確認ください
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真空機器（特に半導体製造装置）の各種可動部分及び、 バルブの軸シールに使用するベローズとしてハステロイ (R)C22を用いた成形ベローズを規格化しました。 ■耐腐食性に優れている ・他のNi-Cr-Mo合金に比べて優れた耐食性を有します。 ・Cl2、HBrガスに対しても応力腐食割れを防止します。 ■高温強度を有する ・650℃に於いてSUS316Ｌの常温引張強さ、0.2%t耐力等よりも優れております。 ■長寿命設計可能 ・成形ベローズでの10(６乗)寿命の設計が可能となりました。 ・従来より更に使用時寸法が短くなりコンパクト設計が可能となります 詳細は『ダウンロード』よりご確認ください
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真空ベローズの入江工研 「高次元で気密する、伸縮の達人」 The master of expansion and contraction at a higher level of airtightness