蒸着装置

基本情報

全自動蒸着装置OASISを提供しています。 社内に試作ラインを備え、予めサンプル作成を行うことでより実効性の高いシステムを提供します。 独自技術のKセルを核に、有機デバイス等の製造・開発に必要な各種プロセスの組み合わせにより、陽極から陰極側の封止まで、基材やデバイス構造を問わず、一貫製作が可能です。

価格情報

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納期

用途／実績例

マイクロOLEDディスプレイの量産等、有機ELデバイスの製造装置に採用されています。詳細については、お問い合わせ下さい。

詳細情報

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  有機EL材料検証用のデバイス製造装置として、多くの採用実績があります。

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  有機EL照明製造用インライン装置の実績もあります。

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  R&Dから量産まで対応する幅広いラインナップを取り揃えています。 TSCシリーズ: 高いレート安定性と広い分子線分布によって有機デバイスの開発を支えるベストセラーシリーズです。Kセルの　常識を超える革新の信頼性は、他の追随を許しません。TVCシリーズ: 分子線の流路にバルブを配置し、瞬時のレート制御を可能にしたセルです。ポイント型、ライン型によりあらゆる用途に対応します。

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  蒸着制御ユニット/ECU-N01(Evaporation Control Unit): ｋセルの温度制御やレート制御を行うユニットです。このユニット単独、或いは外部通信により（RS485、I/O）、容易に蒸着制御を行うことが出来ます。 ※蒸着源、加熱用電源、膜厚計コントローラーは別売となります。 【特徴】 ・独自のフィードバック制御により、レート安定性に優れています。 ・低温の有機材料から高温の無機材料まで対応可能です。 ・低レート蒸着も対応可能です。

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  膜厚計/12Multi Sensor（MSYH12-ST01W）:12枚の水晶振動子が取り付け可能な蒸着モニターユニットです。 ※コントローラーは別売となります。 【特徴】 ・高い信頼性により長時間運用が可能です。 ・カバーとクリスタルホルダーは工具レスで脱着でき、メンテナンス性に優れています。