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光学干渉式リアルタイム膜厚モニター AvaThinfilm

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Ava-thinfilm

最終更新日:2021年07月27日

フォトテクニカ株式会社
フォトテクニカ株式会社
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卓上で簡単に膜厚測定できる、光学干渉式リアルタイム膜厚モニター。10nm〜50μm膜厚測定可能。分光器なので他の各種計測も可能。

小型で使いやすい分光器を利用して、卓上で簡単に薄膜の膜厚測定が可能なシステム。 分光器はファイバーを替えればレーザの計測、その他いろいろに利用できるのも魅力。 測定サンプルより反射される白色光の干渉パターンを利用して計測し、ソフトにn値とk値がデーターベース化されているものから計測する 構成 ●分光器: AvaSpec-ULS2048CL-EVO ●光源:  AvaLight-DHc ●ソフトウエア: AvaSoft-thinfilm ●ファイバー:  FCR-7UV200-M ●アクセサリー: Thinfilm Stage これらをPCから制御して1nm の分解能で10nm〜50μm までの膜厚を測定できます。

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光学干渉式リアルタイム膜厚モニター AvaThinfilm

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  • 関連リンク - https://www.phototechnica.co.jp/products/tfm/qitm/…

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基本情報

様々な薄膜の厚みを非接触で リアルタイムに計測可能な膜厚モニター 【特徴】 ○1nmの分解能で10nm〜50μmまでの膜厚を測定できます ○測定サンプルより反射される白色光の干渉パターンを観測し、薄膜材料の物性値を用いることで光学膜厚へと変換されます。 単相膜の場合、材料のn値及びk値が予め分かっていれば膜厚を算出できます。 ○専用ソフトウェアには、一般的によく使用されるマテリアルやコーティング材料のn値とk値がデーターベース化されており、測定対象物に応じて選択する事が可能です。

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用途/実績例

測定サンプルより反射される白色光の干渉パターンを 利用して計測します。 構成例 ●分光器: AvaSpec-ULS2048CL-EVO ●光源:  AvaLight-DHc ●ソフトウエア: AvaSoft-thinfilm ●ファイバー:  FCR-7UV200-M ●アクセサリー: Thinfilm Stage これらをPCから制御して1nm の分解能で10nm〜50μm までの膜厚を測定できます。

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当社はレーザ発振器及び光学機器・部品の輸入販売からスタートし、世界の革新的で独創的な電子光学機器の輸入販売と高度な技術サービスの提供を通して発展してまいりました。 主要商品としては、半導体レーザからナノ・ピコ・フェムト秒レーザまで各種のレーザ光源を取り扱い、それらを調整・制御する各種機器及び計測機器を取り揃えております。光分光・分析の分野では高性能マルチスペクトルファイバー入射分光器とその応用計測システム(カラー・発光・吸収・ラマン分光・蛍光・プラズマ・LIBS等)と、IRレンズを提供しています。さらに薄膜技術の発展に対応して、薄膜密着強度試験機や光学干渉式膜厚モニタなど、薄膜計測機器を取扱っております。 今後は、ユーザーの要求に迅速に応えるべく、各種アプリケーション及びアフターサービスを充実させてまいります。今後も光とナノテクノロジーの分野にしっかりとした軸足を置き、市場の動向に対応して、皆様のお役に立つフロンティア商社として、更なる発展を目指してまいります。

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