RFプラズマ源 ERFS-500
無電極放電により 金属コンタミの少ないプロセスが可能なRFプラズマ源 【特徴】 ○光学窓付きにより放電が目視確認できる ○石英製窓により高精度のプラズマ分光等が可能 ○自動マッチング機構により 操作が簡単かつ長時間安定な動作が可能です。 ○空冷仕様になっており冷却水の心配がなく 既設装置等へ気軽に取り付けられる ○活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え かつクリーンな原子・ラジカルビーム等を得ることが可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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基本情報
無電極放電により 金属コンタミの少ないプロセスが可能なRFプラズマ源 【特徴】 ○光学窓付きにより放電が目視確認できる ○石英製窓により高精度のプラズマ分光等が可能 ○自動マッチング機構により 操作が簡単かつ長時間安定な動作が可能です。 ○空冷仕様になっており冷却水の心配がなく 既設装置等へ気軽に取り付けられる ○活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え かつクリーンな原子・ラジカルビーム等を得ることが可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
【用途】 ○成膜実験 ○エッチング実験
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企業情報
1972年、初代社長堀田が自宅の玄関先を作業場に 大誠産業株式会社を設立して以来、技術開発、 研究開発の仕事に打ち込んでまいりました。 当初は、気象研究所のポラックカウンタなどの開発に携わり、 空気を科学する仕事から始まりました。 その後、リークデテクタのメンテナンスサービスを 始めるなどして、次第に真空の世界に仕事を広げて行きました。 創立10年頃から超高真空の仕事が増え始め、 創立15年頃には小型の装置を製造できるようになりました。 現在、仕事の守備範囲は格段に増え、超高真空、 MBE、CVD、ECR、RFラジカル源など単に真空装置に止まらず、 各種のプラズマ、イオンあるいは電子を利用した 機能部品の開発を進めております。 今後、真に先端技術の世界で通用する 小企業を目標にしたいと考えております。