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最終更新日：2010年07月09日
搬送キャリアよりウエハーを抜き出し ウエハーのみを洗浄する事が可能な キャリアレス式洗浄装置です。
キャリアレス洗浄装置
多種多様な薬品仕様で製作可能。 装置寸法も設置スペース合わせ検討致します。 キャリアストック数、温水加熱器、薬液供給ユニット 濃度計等オプション追加可能。
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使用薬品実績 HF/APM/SPM/HPM/燐酸/有機溶剤系等・・・ 他の薬品でも検討可能。
お客様の独自の技術や仕様を弊社スタッフが長年培った ノウハウにて最適な形で洗浄装置へ搭載し、商品にする事を 心がけています。
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