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最終更新日：2010年10月01日
オートチューニング機構を持つスピンドライヤーです。
ドライヤー オートバランススピンドライヤー
【特徴】 ○処理するウェハー枚数、カセット数を問わない ○少量、多品種のカスタムICを製造しているFabに最適です ○オートチューニング機構 ●その他の機能や詳細についてはお問い合わせください。
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【用途】 ○カセットレス式洗浄機にも対応
市場の要求に的確に対応できる会社、顧客満足を追求する会社を目指します。 世界各国の半導体製造工場に採用され、大きな期待と責任を担っています。
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