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精密部品 ピンチャック

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最終更新日:2010年10月01日

技研精機株式会社
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ピンチャックとは、上部に無数の突起を作り、その間を真空にすることで板状の品物(シリコンウェハ等)を固定するために用いられます。

ピンチャックとは、上部に無数の突起を作り、その間を真空にすることで板状の品物(シリコンウェハ等)を固定するために用いられます。 本製品は30mm×1300mm×1300mmと薄くて大きな加工物ですが、上面全体の平面度公差が0.01~0.03mmと、非常に高い精度が求められています。

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精密部品 ピンチャック

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【特徴】 〇ピンチャックとは、上部に無数の突起を作り、その間を真空にすることで板状の品物(シリコンウェハ等)を固定するために用いられます。 〇本製品は30mm×1300mm×1300mmと薄くて大きな加工物ですが、上面全体の平面度公差が0.01~0.03mmと、非常に高い精度が求められています。 〇歪みがなく、尚且つ効率的に加工ができる 〇特に面積が大きい為、平面度を出す加工技術以外に、加工時・測定時の温度管理及び測定機器の精度が要求されます。 ●その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい。

価格情報

-

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用途/実績例

【用途】 〇二輪・四輪自動車の開発部品及びレース部品 〇半導体製造装置・液晶製造装置部品 〇航空機ジェットエンジンの開発部品 〇ロボット機構開発部品 〇医療機器部品 〇精密測定機器部品 〇試作削り出し品 〇真空ポンプ部品 〇掘削機部品 ●その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい。

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