隙間ゼロの球面軸受『SRJ』、減速比に有利なクサビ機構ステージの採用により高精度な位置決めを実現
角度調整機構付き Ｚ軸ステージは、定盤やアライメントステージなどの水平レベル調整を行うステージです。 ［特 長］ ■小型・高剛性 クサビ形機構により小型ながら高剛性 ■多機能 ３点間の中心間距離の変化を吸収できる独自のフレキシブルなジョイント機構を搭載 ■高精度 高さの微小調整や水平レベルの調整、傾斜機構を利用した焦点深度の浅い顕微鏡装置の光学台や傾斜制御治具としても利用可能 ※ 弊社製球面軸受（SRJ）とリニアガイドの組合せにより、荷重に合わせた設計が可能。 ●詳しくは弊社までお問い合わせ下さい。
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基本情報
［製品仕様］ 『 Z軸+チルトステージ』 サイズ：Ｗ４００ｍｍ×Ｄ４０ｍｍ×Ｈ２００ｍｍ ストローク：（垂直）５ｍｍ （搖動）±２° 負荷容量： ※ご相談下さい ●上記仕様に限らず、カスタム対応可能です。詳しくは弊社までお問い合わせ下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
用途：検査装置、貼り合せ装置などの水平出し機構
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企業情報
ヒーハイスト精工は、価値を創造する個性ある集団として、創業以来約半世紀に亘る固有技術と独自性を生かして“価値の創造”に努め、新しい時代の要求にお応えしてまいります。