半導体用ウェーハ洗浄から産業用部品洗浄まで幅広い分野の洗浄装置に応用できます。
当社が販売している超音波発生器のメーカー、KYUNG IL MEGASONIC(韓国）は創業以来１０年の製造経験を持ち、国内の半導体メーカーはもとより、欧米にも輸出実績を持っています。 特に、三星電子、及びHYNIXには、過去3年間で約３００台以上の 実績を誇り、装置の完成度の高さと、安定性には定評が あります。 シリコンウェーハー、ガリウム砒素、ハードディスク、 液晶基板等の通常洗浄はもとより、45Nm以下の超微粒子の 除去も対応可能です。
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基本情報
○超音波出力のデジタル表示 ○CPU使用により出力管理と外部機器との交信可能 ○高効率の振動素子使用 ○超音波出力の上/下限アラーム管理 ○周波数：28KHz、40KHz、68KHz、132KHz、180KHz、750KHz、970KHz、2ＭHz
価格情報
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納期
用途／実績例
精密洗浄(シリコンウェハー・ハードディスク・液晶基板・ガラスマスク・ガリウム砒素)
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企業情報
日本はもとより韓国、台湾、欧米等のメーカーと提携している当社は、半導体、LCD製造装置、装置用部品、電子部品、UVランプ、石英ガラス加工品、産業用機器、及び材料等の輸出入を行っています。各国間の情報を集約し、役立つ情報と適切な商品をお客様に提供いたします。