プラズマ、レーザー用大出力高周波電源

富士電波工機株式会社 第1機器部

プラズマ、レーザー用大出力高周波電源

プラズマやレーザー励起等の特殊な電源装置 連続波 　　数KHz 　 　　　 600KW 　　 CW 　　2〜5ＭＨz　100〜300kW　 CW 　　13.56MHz 　　 450kW 　 　 CW 　パルス〜連続波対応 　　13.56MHz 　 50kW 　 他励 　　40MHz 　　　 40kW　　自励 　　100MHz 　　 20kW　　自励 　　基本波２山程度〜CW迄 　　２周波変調　例えば10KHz+100KHz

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プラズマやレーザー励起等の特殊な電源装置 連続波 　　数KHz 　 　　　 600KW 　　 CW 　　2〜5ＭＨz　100〜300kW　 CW 　　13.56MHz 　　 450kW 　 　 CW 　パルス〜連続波対応 　　13.56MHz 　 50kW 　 他励 　　40MHz 　　　 40kW　　自励 　　100MHz 　　 20kW　　自励 　　基本波２山程度〜CW迄 　　２周波変調　例えば10KHz+100KHz

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用途／実績例

プラズマやレーザー励起等の特殊な電源装置 連続波 　　数KHz 　 　　　 600KW 　　 CW 　　2〜5ＭＨz　100〜300kW　 CW 　　13.56MHz 　　 450kW 　 　 CW 　パルス〜連続波対応 　　13.56MHz 　 50kW 　 他励 　　40MHz 　　　 40kW　　自励 　　100MHz 　　 20kW　　自励 　　基本波２山程度〜CW迄 　　２周波変調　例えば10KHz+100KHz

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