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大気圧プラズマ生成用電源

最終更新日:2019年02月14日

株式会社栗田製作所 本社・京都事業部
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パルス放電での大気圧プラズマ生成に

・各方面の大学と共同開発を行なっており、多くの成果が出ています。 ・用途に応じて特注品の製作も承ります。

    その他半導体製造装置プラズマ発生装置その他金属材料
電源_02.jpg

大気圧プラズマ生成用電源

電源_02.jpg
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基本情報

・パルス電源を用いた大気圧アーク放電です。そのためマッチング等の調整が不要です。 ・パルス電源なので、室温からの処理も可能です。投入電力を増やすことで最大400℃程度の領域まで可能です。 ・ガス種に依存せず、ガス化できるものであればほとんどの物質をプラズマ化出来ます。 ・1台の電源で多チャンネル出力が可能なので、低コストで大量処理が可能です。

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仕様により異なりますので、お問合せ下さい。

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用途/実績例

・接着表面のプラズマ洗浄 ・ナノ粒子生成 ・プラズマ照射による表面改質

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