ＬＣＤ、有機ＥＬ、太陽電池等のガラスの洗浄装置です！
本装置はＬＣＤ、有機ＥＬ、太陽電池等のガラスの洗浄装置です。前工程より入口コンベアへ、ガラスの供給を受け、入口コンベア、シャワー、ロールブラシ、２流体、純水リンス（オプションとしてメガソニック）で 洗浄し水切り乾燥を行い、静電除去した後、出口コンベアに送り出す工程を枚葉式で行う装置です。
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基本情報
装置寸法: W1500×D3600×H1350mm 洗浄幅：400mm （有効幅３６０mm) 洗浄物：ガラス基板 最小L75×w75mm 最大L３００×w４００mm 0.5t～1.1t 処理能力: max ２０sec／１基板
価格情報
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納期
※受注後4ヶ月
用途／実績例
ＬＣＤ、有機ＥＬ、太陽電池等のガラスの洗浄装置
企業情報
2009年7月 経済産業省より中小企業ものづくり基盤技術の高度化に関する研究開発計画の認定を受ける。 2010年6月 太陽電池用ガラスエッチングについて、産業技術総合研究所と共同開発を開始 2011年2月 3次元半導体研究センターに8インチケミカル洗浄装置を受注搬入 2011年7月 埼玉県より次世代産業参入支援事業受託 2011年11月アルカリスピンエッチング装置開発。 仕様：大型基盤用（300角） 2012年2月 埼玉県次世代産業参入支援事業終了 2012年4月 太陽電池用シリコンウエハセパレーター新開発。