FCVA方式により、スーパーＤＬＣ（水素基フリーのta-C膜）、Micc膜、各種金属膜を提供します
FCVA方(Filtered Cathodic Vacuum Arc)は、 PVD・CVD等既存のものとは異なる次元の高品質のコーティングを提供します。 また、成膜時に加熱を一切必要としない為、基材の変形等も起こらず、樹脂部品へのコーティングも可能です。 特にDLC膜（ta-C）は １）限りなくダイヤモンドに近い（高いsp3結合） ２）非常に高い硬度・密着性・耐摩耗性 ３）水素フリー ４）膜厚：数nm～10nm ５）内径にも成膜可 等の特徴があり、ハードディスク、精密金型、耐磨耗部品等様々な分野で使われております。 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問合せください。
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基本情報
【ＦＣＶＡ方式の特長】 ▼低温 : COOL FCVAは、室温での成膜と高いコーティング速度により、 プラスチックやゴムへのコーティングなど幅広いアプリケーションに適応できます。 ▼高品質 : Superior quality FCVAでは、他の技術と比較して、はるかに品質が高く、さまざまなコーティングが可能です。 通常、FCVAで作られる膜は、緻密性、均一性、平滑性、高硬度、耐食性、耐摩耗性に優れ、非常に再現性の高いものです。 ▼広い面積 : large area プラズマスキャニングが提供されており、最大直径12インチの蒸着面積に使用することができます (他の同様の技術では今でも大きな課題として残っています)
価格帯
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
■ハードディスク スライダー ■プリント基板切削用ルーター ■精密金型 ■縫製針 その他様々な場面で活躍いたします！
カタログ（1）
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この製品に関するニュース（2）
企業情報
弊社の開発技術は国際特許を取得し社会的にも大きな役割を担っています。 FCVA方式によるスーパーDLC（水素基フリーのta-C膜）（*2）は、 既存のPVD方式やCVD方式により生成されるDLC膜と比較し全く異なるプロセスで成膜されております。 そのほか金属とプラスチックとの離型性に優れた複合金属膜「Micc膜(*3)」があります。 FCVA方式により生成されるコーティング膜は、現在 ハードディスク産業、 精密機械産業、半導体産業などの分野で急速に採用されており、 今後、自動車産業、ナノインプリト産業や生体材料分野への展開が期待されています。
