酸、有機系薬液などの定量吐出管理用の液体フローコントローラーです。高精度、高速で流量制御を行います。
流路部品は全てテフロン樹脂製ですので幅広い耐薬液性を有しています。用途により、流量計タイプをカルマン渦流量計と超音波流量計の2種類よりご選択頂けます。また、液体流量コントローラー単体でも販売しております（商品名：AutoValve）。 詳しくはお問い合わせください。
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基本情報
【特徴】 ○液体流量コントローラと流量計を１つのシステムに統合 ○セットした流量をモニタリングしフィードバック ○高再現性と高信頼性を実現 ○インプット：0-4mA、24VDC ○アウトプット：0-4mA ○供給量：B－Series 0－3 L／min M－Series 0－20 L ／min ○使用材料：薬液接触面 PTFE、PFA ○使用環境：最大供給圧 65psi 最大排背圧 30psi ○最高使用薬液温度：65℃ ○入力電圧：12－30VDC ○オプション：オートバルブ用コントローラー ●詳しくはお問い合わせください。
価格情報
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納期
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用途／実績例
【用途】 ○半導体洗浄装置、定量吐出、定量ブレンド、定量スプレイ、 定量ミキシングなど ●詳しくはお問い合わせください。
企業情報
半導体製造装置、検査装置、半導体製造装置用コンポーネントの国内外への販売、技術サポート、デバイス製造におけるコストダウンを提供する技術商社です。
