CVD装置の週間閲覧数ランキング

高機能メタルシール！！各種真空機器、半導体製造装置などに最適！

• 酸化/拡散装置
• CVD装置
• シール・密封

消費設備内で漏洩した有害なガスを安全に処理いたします。（高圧ガス保安法一般則第55条第1項　対応可）

• CVD装置
• プラズマ表面処理装置
• ガス回収/処理装置

最新の超音波洗浄はソノシスにお任せください

• フォトマスク
• ＣＭＰ装置
• CVD装置

多彩なプラズマソースが搭載可能！CVD、MOCVDやALD装置をカスタマイズ設計

• CVD装置

量産向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　高生産性　連続式常圧CVD(APCVD)装置(12インチウェハ対応)

• CVD装置

半導体・医療機器分野に求められる高清浄度に対応。精密洗浄から包装・組立までを一貫してクリーン環境で行います。

• CVD装置
• スパッタリング装置
• レジスト装置

商業的使用に好適！非常に安定性があり、予測可能な特性と挙動を持っています

• CVD装置
• その他

半導体、液晶製造装置用部材、耐熱、耐食部材、セッター、放熱板に！

• CVD装置

粒子専用のALD（原子層堆積 Atomic Layer Deposition）装置　 ナノスケールの粒子を成膜できます。

• リチウムイオン電池
• CVD装置
• その他表面処理装置

高清浄度活性炭を内蔵

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

アルミ精密部品　旋盤加工　マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• エッチング装置
• 半導体検査/試験装置

優れた膜厚・不純物濃度の均一性。高生産性と低価格を実現した常圧CVD装置

• CVD装置

豊富なプロセスレシピを持ちながらも非常に小型な原子層堆積装置

• CVD装置
• その他表面処理装置

金属ベローズは各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

• 真空機器
• CVD装置
• 蒸着装置

高・強誘電材料、電極材料、配線材料等で多くのオリジナル製品を開発

• CVD装置
• その他半導体製造装置

真空排気シミュレーションなど 低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解析ソフト

• 受託解析
• 真空ポンプ
• CVD装置

CVD, PVD（蒸着, スパッタ等）均熱性・再現性に優れた高真空 超高温 ウエハー・小片チップ加熱用 プレートヒーター

• その他半導体製造装置
• アニール炉
• CVD装置

【ホットウオール式熱CVD装置】基礎研究に最適なコンパクトサイズ高性能CVD装置

• CVD装置
• アニール炉
• 加熱装置

Oリングの桜シールは、AS568規格（航空宇宙規格）ほか様々なサイズのOリングを、多種多様な材質によって成形いたします。

• CVD装置
• エッチング装置
• その他機械要素

Oリングの桜シールによる白色タイプのパーフロロエラストマー材質

• CVD装置
• エッチング装置
• その他機械要素

Oリングの桜シールによる標準タイプのバイトンETP (FFKM-E)材質

• CVD装置
• エッチング装置
• シール・密封

Oリングの桜シールでは、幅広いサイズと多様な材質をラインナップし、常備20000種類以上の在庫による即納販売を行っております。

• その他機械要素
• CVD装置
• ゴム

Oリングの桜シールは、JIS規格サイズは勿論のこと、中間・延長・派生サイズなども規格に組み込んで、多様な材質にて成形いたします。

• その他機械要素
• CVD装置
• ゴム

Oリングの桜シールは、耐熱性や耐圧性、耐薬品性といった様々な性能を持つ多種多様な材質を取り揃え、様々なサイズで成形いたします。

• その他機械要素
• CVD装置
• ゴム

Oリングの桜シールは、PTFE（テフロン／4フッ化エチレン樹脂）ほか多様な材質で、幅広いサイズのOリングを制作いたします。

• 飲料製造装置
• CVD装置
• 配管材

MOCVD装置　VEECO　K465i G2

• CVD装置
• その他半導体製造装置

PLAD-161 PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

PLAD-271PE PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

内径わずか1mmのパイプの内側にも施工可！潤滑、耐蝕、離型に優れているので用途は厨房機器から宇宙機器に至るまで様々です。

• その他表面処理装置
• CVD装置

フッ素樹脂の種類2　PFA (4フッ化エチレンパーフロロプロピルビニルエーテル)

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

パイプが細い分、短時間で接着剤が詰まったり、短時間で腐食したりするのは解決できます！

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

日新技研社〜単結晶育成装置〜総合カタログ　無料配布中！

• CVD装置

各種成膜処理ができる半導体ウェハー・アドバンストパッケージング向け成膜プラットフォーム

• スパッタリング装置
• エッチング装置
• CVD装置

対応可能膜種はDLC、アモルファスSiC等！基板加熱機構付き（最高設定温度：500℃）

• プラズマ発生装置
• CVD装置

横の許容は+0.2/0-0mm、厚さの許容は+/-0.05mm！電子グレードCVDについてご紹介します

• CVD装置
• その他

Agnitron社にて独自開発された、高性能、高スループット先端化合物半導体向けMOCVD装置を提供します。

• CVD装置

従来の陽極酸化装置をさらに応用したポーラスシリコン形成装置。使用薬液・電流密度により多孔質シリコンウエハーが形成されます。

• CVD装置

長期耐久性に優れたふっ素ゴム！！従来のふっ素ゴムに比べ高温（200〜220℃）での使用にも耐えます。

• 酸化/拡散装置
• CVD装置
• 真空機器

超高温耐熱　O-Ring

• CVD装置
• 蒸着装置
• その他環境分析機器

高電圧リレー

• CVD装置
• 蒸着装置
• スイッチ

中古半導体製造装置

• CVD装置

フロー管理システムが搭載！粉体へも高温でのCVD/PECVDによる処理が可能

• CVD装置

装置から排出される有害な排気ガス及びシリンダーキャビネットからのベントガスを安全に処理いたします。

• CVD装置
• プラズマ表面処理装置
• ガス回収/処理装置

高濾過精度

• CVD装置
• ステッパー
• ガスフィルタ

SPCシリーズは超小型（φ21×84mm）、軽量（90g）に設計されております。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

コンパクトな構造・高精度にして低価格

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• 丸型コネクタ

歩留まりを大幅に向上

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

コンパクトサイズでより高流量のガスを処理

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

ピュアロン製小型ガス精製器を効率良くヒーティングするために専用で開発致しました。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

取付時間の短縮によるコスト低減につながります。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

視覚性の高い高輝度大型ＬＥＤを装備し、文字高 約２０ｍｍで表示致します。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• 表示器

最大1,000lpmまでの流量を確保

• CVD装置
• エッチング装置
• 蒸着装置

『流路まるごと事例集』半導体材料メーカー様　必見！分解洗浄を可能としたダイヤフラムバルブの事例を進呈中

• その他半導体製造装置
• バルブ
• CVD装置

どのような形状の品物に対しても制限なく使用できる、CVDコーティング装置

• CVD装置

高い赤外線透過率をもつＤＬＣ膜をハイレートで基板両面に形成。 安定のハードと先進のソフトで次世代のＩＲコーティングを実現

• プラズマ表面処理装置
• プラズマ発生装置
• CVD装置

安定したパルス放電を実現

• プラズマ発生装置
• CVD装置
• 電源

ガスボックス

• CVD装置
• エッチング装置

少量パックのオンライン販売で必要な分を必要なときに！

• CVD装置
• イオン注入装置
• 蒸着装置

高い汎用性を備えたシンプルな構造！独自のプラズマ制御方式を採用しています

• CVD装置

高効率高周波電源【ローコスト・省電力・コンパクト設計】600W以上の耐反射能力を持ち、短絡・開放の急激な負荷変動に耐えます

• CVD装置

少量・多品種向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　枚葉式常圧CVD(APCVD)装置(8インチSiCウェハ対応)

• CVD装置

空気噴流によりワークを非接触にて懸垂搬送! ベルヌーイチャック

• ウエハー
• CVD装置
• 多関節ロボット

穴あきセラミック基板・ＦＰＣ基板を穴の位置に関係なく非接触にて移載可能。

• 基板加工機
• CVD装置
• その他半導体

ステンレス加工　フライス加工　【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】　

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

アルミ加工　アルマイト処理　大阪【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• スパッタリング装置
• CVD装置
• 蒸着装置

『真空のゴムOリング ガス透過やガス放出を無くしたい』低締付メタルガスケット デルタベータHNRVなら可能です。

• シール・密封
• CVD装置

既設のボルトのサイズ・数は変更不要？半導体製造装置で『真空のゴムOリング ガス透過やガス放出を無くしたい』などお困りの方必見！

• シール・密封
• CVD装置
• 電子ビーム描画装置

機能性アルミフレームと豊富なアクセサリーのコストダウン【単品はもちろん、面組・立体の「組立品」としても承ります！】

• その他組立機械
• CVD装置

装置サイズを可能な限りコンパクト化！安定した成膜処理と低パーティクルを実現

• CVD装置

耐熱性があり、かつ耐熱衝撃性にも優れている『窒化珪素』は、機械的強度も強くバランスの良い素材です。

• ファインセラミックス
• CVD装置
• 加熱装置

3種類の堆積装置をラインアップ！用途に合わせてお選びください

• CVD装置

国内最大級の超大型DLC装置のご紹介です！

• 加工受託
• CVD装置

配管部品は各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

• 真空機器
• CVD装置
• 蒸着装置

『DSMC-Neutrals』の特徴！

• 真空機器
• 真空ポンプ
• CVD装置

希薄気体が起こす化学反応も考慮可能！

• CVD装置
• ウエハー
• その他半導体

◉ 短時間 1バッチわずか30分で容易にグラフェン合成実験が可能 ◉ 高精度温度・圧力制御 ◉ 洗練されたソフトウエア

• CVD装置

コンパクト、70ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの薄膜モジュールを組込み、様々な用途に対応するマルチ薄膜装置

• スパッタリング装置
• 蒸着装置
• CVD装置

コンパクト、70ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの薄膜モジュールを組込み、様々な用途に対応するマルチ薄膜装置

• スパッタリング装置
• 蒸着装置
• CVD装置

Φ3inch、Φ4inch ウエハーサイズ対応プラズマCVD 装置。不純物を抑制し清浄・高品質なグラフェンを高速合成。

• CVD装置

真空蒸着装置とこれらに関連する機器メンテナンスサービスを行っております。

• 蒸着装置
• CVD装置
• スパッタリング装置

Oリングの桜シールは、過酷な温度条件や強力な薬品にも耐えることが出来る特別な材質を取り揃え、様々なサイズに成形いたします。

• シール・密封
• CVD装置
• エッチング装置

Oリングの桜シールによる標準タイプのパーフロロエラストマー材質

• CVD装置
• エッチング装置
• シール・密封

Oリングの桜シールによる標準タイプの3元系フッ素ゴム材質

• 塗装機械
• CVD装置
• その他機械要素

Oリングの桜シールによる白色タイプの3元系フッ素ゴム材質

• その他機械要素
• CVD装置
• 配管材

Oリングの桜シールによる耐熱性3元系フッ素ゴム（耐高温: 250℃）材質

• その他機械要素
• CVD装置
• シール・密封

Oリングの桜シールによる耐熱性パーフロロエラストマー（耐高温-300℃）材質の旧グレード

• CVD装置
• エッチング装置
• その他機械要素

Oリングの桜シールによる白色タイプの耐熱性パーフロロエラストマー（耐高温: 280℃）材質

• CVD装置
• エッチング装置
• その他機械要素

Oリングの桜シールによる白色タイプのバイトンETP (FFKM-E)材質

• CVD装置
• エッチング装置
• その他機械要素

Oリングの桜シールによる標準タイプのアフラス (FEPM)材質

• その他機械要素
• CVD装置
• シール・密封

Oリングの桜シールによる低固着性+低アウトガス性のフッ素ゴム（FKM）材質

• シール・密封
• 配管材
• CVD装置

Oリングの桜シールによる低固着性+低アウトガス性のフッ素ゴム（FKM）材質

• シール・密封
• 配管材
• CVD装置

Oリングの桜シールによる充填剤無使用の耐熱パーフロ（耐高温: 300℃）材質

• CVD装置
• エッチング装置
• その他機械要素

Oリングの桜シールによる配合材無使用の特殊（フッ素ゴム+フッ素樹脂）材質

• CVD装置
• エッチング装置
• その他機械要素

Oリングの桜シールによる高硬度タイプのアフラス (FEPM)材質

• その他機械要素
• CVD装置
• シール・密封

・標準サイズの製品が多数・Easy installation 簡単設置 ・精密焼結拡散接合 （ 同時焼結 ） ・高い流量

• CVD装置

MOCVD、フィルター、AIXTRON、LED、中国産、高温真空粉塵濾過、

• 電気炉
• CVD装置
• 真空機器

液漏れを早期に発見し事故を最小限に防止！油、有機溶剤検知器にＲｏＨＳおよびＣＥ対応のＯＤ－７が加わりました。

• CVD装置

半導体製造装置の技術サービスはお任せ下さい。

• コーター
• CVD装置
• ステッパー

中古装置活用で大幅なコストダウンができるだけでなく、導入後のアフターサービス、メンテナンス、仕様変更にも格安で対応致します。

• コーター
• CVD装置
• エッチング装置

配管形状を選ばず、粉体の析出を抑制し配管内の閉塞を局所集中により防止してポンプ性能を延命させます。

• CVD装置