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高速高解像度レーザー露光装置

• 電子ビーム描画装置
• その他半導体製造装置
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Canon製FPA3000/Nikon製NSRのサービスを行っております。

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自動機・専用機

• 組立機械
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• その他FA機器

ウエハサイズ 後工程 投影露光装置 MRS　標準光源としてUV-LED光源を採用（生産性を落さずランニングコスト削減が可能！）

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高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大15W、水銀不使用、内蔵するLEDを選択可能

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• その他半導体製造装置

0.6umの微細描画が可能な高速マスクレスアライナー

• フォトマスク
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テーブルトップサイズのオートフォーカス付きマスクレスアライナー

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高速半導体用マスクレーザー描画装置『ULTRA』

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500～1200ｍｍサイズの加工を得意とし、1000分台の精度保証対応が可能です。まずはご相談ください。

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• スパッタリング装置
• 半導体検査/試験装置

半導体製造装置の技術サービスはお任せ下さい。

• コーター
• CVD装置
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２相マイクロステップモータドライバ「２Ｄ１４Ｍ」

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• コントローラ
• その他FA機器

高濾過精度

• CVD装置
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• ガスフィルタ

搬送系はローラコンベア方式でインラインとして利用可能！

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190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

• レジスト装置
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• その他半導体製造装置

50μm厚の超薄型ガラス基板を非接触にて搬送する 非接触搬送装置「50μm厚超薄型ガラス非接触搬送装置LNAS型」

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高速パターン・ジェネレータ

• 電子ビーム描画装置
• その他半導体製造装置
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【削る前が決め手】仕様確認、工法の提案、工程及び治具設計、工具の選定、プログラム作成、加工シュミレーションにも力を入れています

• ウエハ加工/研磨装置
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• 半導体検査/試験装置

Flexible Display用など機能性Film製造用Coating装備

• スパッタリング装置
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平板ガラス基板の上に薄膜をコーティングする装備

• スパッタリング装置
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一つのチャンバーに基板を搭載して生産する方式

• スパッタリング装置
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２相バイポーラマイクロステップドライバ　「ＰＭＢ２１２Ｃ」

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２相マイクロステップモータドライバ「２Ｄ２４Ｍ」

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最高１／２００まで非常に滑らかに回転する２相モータドライバ

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• 発電機・伝動モータ

用途に合わせた幅広い提案が可能です。

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• コンデンサ

単相/三相仕様、大電流対応しております。高周波ノイズ対策用（1GHzまで)として使われます。

• 射出成形機
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• フィルタ

全自動全面一括露光が可能なオートアライナー装置をラインアップ

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CCDカメラによる画像処理自動整合システムを搭載

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平行光露光装置のラインナップのご案内です。

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顕微鏡オート移動など､生産性､使い勝手に優れたアライナ

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• その他半導体製造装置

露光装置及び、周辺装置用のレチクルケース。主要露光装置メーカーの露光装置にて多数採用済み。クリーンな環境での使用可能！

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最大8インチ対応角基板まで対応可能 セミオートアライメント対応露光装置

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• 紫外線照射装置

最大4インチ角基板対応 手動露光機

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• 紫外線照射装置

プロダクション向け高性能マスクレスアライナー

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• その他半導体製造装置

研究開発向け高性能レーザーリソグラフィ装置

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ナノの領域へ、完璧に刻む。つくば産総研監修・高精度ステップ＆リピート転写装置。

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高速トルク特性が良好な５相ステップモータドライバ

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５相マイクロステップモータドライバ　「５Ｄ０３Ｍ」

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５相ＡＣ電源マイクロステップモータドライバ　「５Ｄ１ＡＭ」

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５相マイクロステップモータドライバ「５Ｄ１３Ｍ」

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５相ステップモータドライバ「５Ｄ１４Ｃ」

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最大50W 超高出力。水銀ランプに代わるLED照射器。ＵＶ硬化、半導体検査装置などに使用可能

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同一波長のモジュールを複数搭載可能な高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大80W、水銀不使用、

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6-Dクオリティで最高級のメカニカルステージ

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• 距離関連測定器
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光源と光学系技術の開発・応用力の粋を集めた各種ランプのご案内です。

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• ランプ・発光素子
• その他光学部品

両面アライメントと、プロキシミティおよびソフトコンタクト露光が可能

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フレキシブルプリント基板（FPC）の回路形成を行うための装置

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フレネルレンズを搭載した高精度露光装置です。

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１軸から３軸一体型までの低振動型ステッピングドライバー

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最大加工サイズφ1000×500、工程集約による短納期対応、複数面アプローチによる複雑形状の高精度加工

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独自のチャック方法により、高精度の薄板加工品を提供します【サイズや、加工による変形で精度でお困りのお客様お気軽にご相談ください】

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最大φ１０００ｍｍ、深さ６００ｍｍまでの掘り込みが可能です。精度だけでなく美観にもこだわりを持って製品をご提供します

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砂型鋳造、金型鋳造、金型鋳造、ダイカスト鋳造、石膏鋳造など、あらゆる鋳物品加工を対応いたします。最大900×900×1000ｍｍ

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