ステッパーの週間閲覧数ランキング

0.6umの微細描画が可能な高速マスクレスアライナー

• フォトマスク
• ステッパー

LED/LD混合波レンズ　高速で高い生産能力・高コストパフォーマンス

• ステッパー

高速高解像度レーザー露光装置

• 電子ビーム描画装置
• その他半導体製造装置
• ステッパー

Canon製FPA3000/Nikon製NSRのサービスを行っております。

• ステッパー

テーブルトップサイズのオートフォーカス付きマスクレスアライナー

• フォトマスク
• ステッパー

研究開発向け高性能レーザーリソグラフィ装置

• 電子ビーム描画装置
• その他半導体製造装置
• ステッパー

独自のチャック方法により、高精度の薄板加工品を提供します【サイズや、加工による変形で精度でお困りのお客様お気軽にご相談ください】

• ステッパー
• 真空機器
• フォトマスク

５相ステップモータドライバ「５Ｄ１４Ｃ」

• ステッパー
• コントローラ
• その他FA機器

ウエハサイズ 後工程 投影露光装置 MRS　標準光源としてUV-LED光源を採用（生産性を落さずランニングコスト削減が可能！）

• ステッパー

自動機・専用機

• 組立機械
• ステッパー
• その他FA機器

高速パターン・ジェネレータ

• 電子ビーム描画装置
• その他半導体製造装置
• ステッパー

Flexible Display用など機能性Film製造用Coating装備

• スパッタリング装置
• コーター
• ステッパー

平板ガラス基板の上に薄膜をコーティングする装備

• スパッタリング装置
• コーター
• ステッパー

一つのチャンバーに基板を搭載して生産する方式

• スパッタリング装置
• コーター
• ステッパー

500～1200ｍｍサイズの加工を得意とし、1000分台の精度保証対応が可能です。まずはご相談ください。

• ステッパー
• スパッタリング装置
• 半導体検査/試験装置

【削る前が決め手】仕様確認、工法の提案、工程及び治具設計、工具の選定、プログラム作成、加工シュミレーションにも力を入れています

• ウエハ加工/研磨装置
• ステッパー
• 半導体検査/試験装置

半導体製造装置の技術サービスはお任せ下さい。

• コーター
• CVD装置
• ステッパー

高速トルク特性が良好な５相ステップモータドライバ

• ステッパー
• コントローラ
• その他FA機器

５相マイクロステップモータドライバ　「５Ｄ０３Ｍ」

• ステッパー
• コントローラ
• その他FA機器

２相バイポーラマイクロステップドライバ　「ＰＭＢ２１２Ｃ」

• ステッパー
• コントローラ
• その他FA機器

５相ＡＣ電源マイクロステップモータドライバ　「５Ｄ１ＡＭ」

• ステッパー
• コントローラ
• その他FA機器

５相マイクロステップモータドライバ「５Ｄ１３Ｍ」

• ステッパー
• コントローラ
• その他FA機器

２相マイクロステップモータドライバ「２Ｄ１４Ｍ」

• ステッパー
• コントローラ
• その他FA機器

２相マイクロステップモータドライバ「２Ｄ２４Ｍ」

• ステッパー
• コントローラ
• その他FA機器

最高１／２００まで非常に滑らかに回転する２相モータドライバ

• ステッパー
• コントローラ
• 発電機・伝動モータ

用途に合わせた幅広い提案が可能です。

• 半導体検査/試験装置
• ステッパー
• コンデンサ

高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大30W、水銀不使用、内蔵するLEDを選択可能

• ステッパー
• その他半導体製造装置

高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大30W、水銀不使用、内蔵するLEDを選択可能！

• ステッパー
• その他半導体製造装置

最大50W 超高出力。水銀ランプに代わるLED照射器。ＵＶ硬化、半導体検査装置などに使用可能

• ステッパー
• その他半導体製造装置

高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大15W、水銀不使用、内蔵するLEDを選択可能

• ステッパー
• その他半導体製造装置

同一波長のモジュールを複数搭載可能な高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大80W、水銀不使用、

• ステッパー
• その他半導体製造装置

光源と光学系技術の開発・応用力の粋を集めた各種ランプのご案内です。

• ステッパー
• ランプ・発光素子
• その他光学部品

全自動全面一括露光が可能なオートアライナー装置をラインアップ

• ステッパー

両面アライメントと、プロキシミティおよびソフトコンタクト露光が可能

• ステッパー

フレキシブルプリント基板（FPC）の回路形成を行うための装置

• ステッパー

CCDカメラによる画像処理自動整合システムを搭載

• ステッパー

搬送系はローラコンベア方式でインラインとして利用可能！

• ステッパー

フレネルレンズを搭載した高精度露光装置です。

• ステッパー

平行光露光装置のラインナップのご案内です。

• ステッパー

顕微鏡オート移動など､生産性､使い勝手に優れたアライナ

• レジスト装置
• ステッパー
• その他半導体製造装置

１軸から３軸一体型までの低振動型ステッピングドライバー

• 半導体検査/試験装置
• ステッパー
• その他FA機器

50μm厚の超薄型ガラス基板を非接触にて搬送する 非接触搬送装置「50μm厚超薄型ガラス非接触搬送装置LNAS型」

• ステッパー

露光装置及び、周辺装置用のレチクルケース。主要露光装置メーカーの露光装置にて多数採用済み。クリーンな環境での使用可能！

• ステッパー

サポート終了の半導体製造装置の長期使用・保守改善・メンテナンスの救世主。老朽化する高価半導体製造装置の制御装置延命処置。

• ステッパー

プロダクション向け高性能マスクレスアライナー

• ステッパー
• フォトマスク
• その他半導体製造装置

高速半導体用マスクレーザー描画装置『ULTRA』

• 電子ビーム描画装置
• フォトマスク
• ステッパー

最大8インチ対応角基板まで対応可能 セミオートアライメント対応露光装置

• ステッパー
• 紫外線照射装置

最大4インチ角基板対応 手動露光機

• ステッパー
• 紫外線照射装置