エッチング装置の週間閲覧数ランキング

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性に優れる！独自のイオンアシスト蒸着法による酸化イットリウム

• 表面処理受託サービス
• エッチング装置
• 加工受託

数百台の実績を誇る汎用性に優れたドライエッチング装置。

• エッチング装置

高いメンテナンス性！エッチング均一性・パターン精度が向上した、エッチング装置

• エッチング装置

「効率」と「節約」を合わせて追求した新しい温度管理システム

• 温湿度制御
• 加熱装置
• エッチング装置

Oリングの桜シールは、FKM-70（4種D／フッ素ゴム）ほか多様な材質で、幅広いサイズのOリングを成形いたします。

• シール・密封
• エッチング装置
• 配管材

カフマングリッドレスイオンソース一式

• 蒸着装置
• エッチング装置
• プラズマ表面処理装置

バキュームエッチング技術により高精細なパターン処理を実現！面内バラツキ無く仕上がります

• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)
• 基板加工機
• エッチング装置

最大1,000lpmまでの流量を確保

• CVD装置
• エッチング装置
• 蒸着装置

安全でクリーンな塩化第二鉄エッチング液電解再生装置

• エッチング装置
• その他半導体製造装置

自動管理装置「アデカベアック装置」を用いて、エッチング液を常時分析

• エッチング装置

ウェハーレベルＣＳＰや精密電子部品をはじめとするあらゆる分野で

• エッチング装置

-70℃～+200℃まで幅広い温度管理を実現可能なチラ―！

• 温湿度制御
• エッチング装置
• 加熱装置

消費電力66%削減！幅わずか390mmの省エネを追求した温度管理システム。

• 温湿度制御
• 加熱装置
• エッチング装置

高い冷却能力、高速加熱・冷却を追求した温度管理システム

• エッチング装置
• 加熱装置
• 温湿度制御

最短半日見積り／SUS304（ステンレス材）によるNC複合旋盤加工＋ローレット加工です。

• エッチング装置

ＫＲＩグリッドイオンソースはDCタイプ、RFタイプがあります。

• 蒸着装置
• その他半導体製造装置
• エッチング装置

好適ノズル設計によりムラの無い処理が可能！液シミやムラ・サビの無い仕上がり！

• エッチング装置
• その他表面処理装置

フォトマスクの新規開発に携わる方必見！コンパクトな設計で、様々なサイズのフォトマスク・ウエハの処理が可能なドライエッチング装置

• エッチング装置

「厚銅の精密加工と『廃液削減』を両立。ドイツの知性が生んだ資源循環型プロセス。SiC/GaN向け放熱基板の微細加工に最適。

• エッチング装置

エアー噴流で、簡単・効率的にエッチング

• エッチング装置

高純度のカーボン素材でパーティクルがなく、気体を透過しません。しかも軽量で、適度な硬さもあるため耐摩耗性も良好です。

• エッチング装置

いろんな溶液を温めたり・保温するのに最適！テフロン製の熱交換器ならそんなお声に応えます

• エッチング装置
• 温湿度制御
• 加熱装置

切削工具、治具、金型の再コーティングの前処理として浸漬処理を施すことで、残留コーティング膜の剥離が可能です

• エッチング装置

フォトリソ工程装置内（ノズル、 搬送ローラー、 槽壁等）に固着したレジストスカムをスプレイ処理を施す事で簡単に除去が可能です

• エッチング装置

銅の表面処理を施し、様々な機能を付与することで各種レジスト材料との密着性が向上します

• エッチング装置

メタルエッチングの加工形状や断面形状、寸法公差についてご紹介致します

• エッチング装置

高精度かつ高信頼性の酸化膜微細加工！プロセスガスからラジカルを選択的に生成

• エッチング装置

均一な温度での電子部品の連続熱処理に！多品種・小ロットにも対応した熱処理炉

• 工業炉
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

エッチング工程に適した高耐食高耐久ローラー

• エッチング装置

2台の薄膜実験装置をロードロック機構で連結。異なる成膜装置（スパッタ、蒸着、など）をロードロックでシームレスに連結

• スパッタリング装置
• 蒸着装置
• エッチング装置

Oリングの桜シールによる標準タイプのパーフロロエラストマー材質

• CVD装置
• エッチング装置
• シール・密封

Oリングの桜シールによる耐熱性パーフロロエラストマー（耐高温-300℃）材質の旧グレード

• CVD装置
• エッチング装置
• その他機械要素

中古装置活用で大幅なコストダウンができるだけでなく、導入後のアフターサービス、メンテナンス、仕様変更にも格安で対応致します。

• コーター
• CVD装置
• エッチング装置

IC・MEMSの実験に適した安価で超小型！即稼働の実験装置をご提案！

• コーター
• エッチング装置
• 基板加工機

高いスループットを実現！大面積イオンソースと高度なモーションコントロール

• エッチング装置

用途に応じてコンフィギュレーションする事ができるプラズマエッチング・成膜装置

• エッチング装置

R＆D用特殊仕様から量産向けまで対応可能！一般的なグリッドと比較して約3倍の長寿命化

• エッチング装置

PLP向けにより高い生産性！より多くのプロセス可能性。アドバンストパッケージング向けに最適

• スパッタリング装置
• エッチング装置

高速かつ柔軟性のある基板成膜用途向けの大量生産ソリューションを提供！

• スパッタリング装置
• エッチング装置

液晶ガラス基板の薄肉加工ケミカル研磨の自動装置として、G6世代までの薄肉化処理に適しています。

• その他加工機械
• エッチング装置
• その他表面処理装置

表面改質・洗浄に優れた低温電荷ダメージ無し！真空・大気圧プラズマを安価な価格帯で提供！

• エッチング装置

ワークやパターンの情報を元に設計からの対応実績も豊富にございます！

• 加工受託
• エッチング装置
• 表面処理受託サービス

低コストにて対応するために、エッチングで必要不可欠な原版も友取り・共用等にするなど工夫しています！

• エッチング装置

薬品での表面腐食による、金属組織検査用の前処理を行います。

• その他の各種サービス
• 加工受託
• エッチング装置

物理的・電気的なダメージを与えることなくパッケージの除去が可能！高選択性のエッチング

• エッチング装置
• 超音波洗浄機
• 乾燥機器

真空カセット室を備え、プロセス再現性や安定性に優れた本格生産用装置をご紹介

• エッチング装置

小型卓上タイププラズマ装置　PiPi（ピピ）

• エッチング装置
• アッシング装置
• 表面処理受託サービス

フロステックのガラス表面処理剤は、自然環境と作業環境にやさしいゼロエミッション化を目指した３Ｒ薬剤です。

• ガラス
• 液晶ディスプレイ
• エッチング装置

シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから１ｍ□基板まで対応。Ｓｉ系、メタル、有機膜、各種薄膜のダメージレスエッチング

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置

接液部がPFA樹脂製で温調レスポンスが良い薬液インラインヒーター

• エッチング装置
• その他半導体製造装置

簡単操作のCtoCロボット搬送付き現像/エッチング装置。用途によりデベロッパー、エッチャー共に製作可能

• レジスト装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

高品質・低価格・省スペースを追求 スイングスプレー式、パドル方式の両方に対応したデベロッパー

• レジスト装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

【デモ機貸し出し可能！】処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理する半自動装置

• エッチング装置

狭いスペースＯＫ、使い用途に合わせた設定変更可能、短納期を実現した『小型エッチングマシン』

• その他表面処理装置
• エッチング装置
• その他実験器具・容器

スプレー上下にそれぞれ圧力計を搭載した小型エッチングマシン！

• エッチング装置

五面五軸加工　半導体製造装置部品【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• 半導体検査/試験装置
• エッチング装置

安定した量産、低価格！基板へのインパクトが低い、エッチング装置

• エッチング装置

高いエッチング均一性！特許取得の左右交互斜めシャワーで実現しました

• エッチング装置

現像機等で発生する泡の液化処理に！基板品質の向上を実現する泡処理装置

• エッチング装置
• その他水処理装置

バキュームノズルで薬液溜りを解消します

• エッチング装置

精密写真と写真腐食法の応用から生まれた技法！極小極薄・複雑形状の製品に好適 な加工法

• 加工受託
• エッチング装置

ISO17463に基づく電気化学測定装置を用いた金属上の有機被膜の評価 - 塗料およびワニス

• エッチング装置
• ウエハー
• その他表面処理装置

金型レスで安価な小ロット量産

• 製造受託
• エッチング装置
• エンジン系部品

低テンション搬送でフィルム伸び抑制！高効率スプレーを実現

• エッチング装置

極薄SUS箔もシワなく安定搬送する独自ロール配置設計

• エッチング装置

めっき・エッチング・洗浄などのウェット装置で先端材料の実用化を支える

• エッチング装置
• めっき装置
• その他表面処理装置

小型でも本格！少量液で実機さながらのエッチング試験

• エッチング装置

自動管理装置「アデカエイフェススーパー装置」による液管理

• エッチング装置

半導体・ＦＰＤ・光通信の各分野の発展に貢献、業界トップシェア

• エッチング装置

工業用写真で培った技術により、高品質の製品を提供致します。

• エッチング装置

高品質、短納期に加え、コストパフォーマンスのよさが特長です。

• エッチング装置

各工程での検査機器、品質管理体制の充実に取り組んでおります

• その他CAD
• エッチング装置
• プリント基板

ご注文された際のお問い合わせから納品までの流れをご紹介致します。

• エッチング装置
• プリント基板

伸光写真サービスのプリント基板製造の一般的な納期をご紹介致します。

• エッチング装置
• プリント基板

生産設備・研究開発向け！薄膜電子部品工程における一連のプロセスを提供！

• コーター
• レジスト装置
• エッチング装置

半導体や太陽電池の生産・研究開発設備！独自の高温処理技術による高温熱処理炉

• 工業炉
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

最大1500ミリX3000ミリの大型エッチングが可能！ 独自の特殊メッキにより、超耐候性を実現！！ 深彫りで､高級感UP！！

• エッチング装置

装飾性と耐久性を兼ね備えた銘板！！ シャープな表現が可能！！

• エッチング装置

色鮮やかな表現が可能で安価なアルミ銘板！陽極酸化被膜（アルマイト処理）により、溶剤等の影響を受けにくい！！

• エッチング装置

微細な印刷が可能。細かい文字や絵柄、網点の印刷が可能で、標記内容の多い銘板等の製作に最適。

• エッチング装置
• 銘板
• 印刷機械

明るい雰囲気の表示が得意な、汎用性に優れた銘板

• エッチング装置
• 銘板
• 印刷機械

耐久性に優れた、重厚感のある銘板

• エッチング装置
• 銘板
• 印刷機械

会社の「顔」にふさわしく、気品のある美しい仕上がりに

• エッチング装置
• 銘板
• 印刷機械

点字エッチングの技術は、トーホーの特許製品です！ 図柄と点字の一体化でデザイン性をＵＰ！！

• エッチング装置

ステンレス銘鈑に特殊メッキを施すことにより、超耐候性を実現！最大1500mm X 3000mmの超大型エッチングも対応！

• エッチング装置

Particle-PLUS解析事例紹介「2周波CCPのプラズマ解析」シミュレーション事例

• エッチング装置
• ウエハー
• アッシング装置

＜30W ローパワー・エッチング制御精度10mW ダメージレス・繊細なエッチング処理を実現

• エッチング装置

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み立てることができるセミカスタムメイド薄膜実験装置

• 蒸着装置
• スパッタリング装置
• エッチング装置

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ、4元マルチスパッタ（Φ2〜4inchカソード）

• スパッタリング装置
• 蒸着装置
• エッチング装置

グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570mmトールチャンバー採用 蒸着時の均一性向上に寄与

• 蒸着装置
• スパッタリング装置
• エッチング装置

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用） 4元マルチスパッタ（Φ6, 8inch用）

• スパッタリング装置
• 蒸着装置
• エッチング装置

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立が可能。様々な研究用途に対応可能な小型薄膜実験装置。

• スパッタリング装置
• 蒸着装置
• エッチング装置

蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570mmトールチャンバー採用 蒸着時の均一性向上に寄与

• 蒸着装置
• スパッタリング装置
• エッチング装置

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合わせてフレキシブルに構成

• 蒸着装置
• スパッタリング装置
• エッチング装置

2台の薄膜実験装置をロードロック機構で連結。異なる成膜装置（スパッタ、蒸着、など）をロードロックでシームレスに連結

• スパッタリング装置
• 蒸着装置
• エッチング装置

最高180℃まで設定可能！リークレスの高温対応モデル

• 温湿度制御
• エッチング装置
• 加熱装置

耐薬品・耐熱・絶縁・非磁・耐酸・耐アルカリ・耐油・耐溶剤・断熱・リサイクル

• ばね
• その他理化学機器
• エッチング装置

耐薬品・耐熱・絶縁・非磁・耐酸・耐アルカリ・耐油・耐溶剤・断熱・リサイクル

• ばね
• その他理化学機器
• エッチング装置

耐薬品・耐熱・絶縁・非磁・耐酸・耐アルカリ・耐油・耐溶剤・断熱・リサイクル

• ばね
• その他理化学機器
• エッチング装置

最短半日見積り／特殊形状、複雑形状にも対応！半導体、電子機器、工作機械などの精密部品製作はお任せ下さい。

• エッチング装置