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50枚一括バッチ式プラズマアッシング装置（アッシャー装置）・6インチウエハと8インチウエハに対応。ウエハ枚葉処理式もございます。

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小型プラズマクリーナー（簡易型枚葉式プラズマクリーナー）

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自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成の実績豊富な各タイプ　眞空プラズマの高い効果を量産ラインに

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ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物半導体・ＭＥＭＳ。幅広い実績と充実のサポート。新タイプ登場

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ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッチャー・アッシング装置・クリーナー(クリーニング装置)

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「プラミ-α」は小型で、使いやすい大気圧プラズマ発生装置です。 いつでも！　どこでも！　簡単に表面改質や活性化に使用できます。

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ユニークなウエハー移載機搭載のバッチ処理装置から枚葉処理装置まで、世界中のMEMSや半導体等のファブで使用されております。

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世界中のOSATのお客様向けに多くの実績があり、信頼性のあるパフォーマンスでその地位を確立しております。

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業界最小サイズ！小型・低コスト卓上型プラズマ処理装置

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小型・低コストな卓上型プラズマ処理装置Harrick Plasma社　PDC-001 / プラズマクリーナー

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ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー

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小型卓上タイププラズマ装置　PiPi（ピピ）

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• 表面処理受託サービス

ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向上させます。

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• その他半導体製造装置

エッチング、アッシング及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れたコンパクトな装置です！

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プラズマ処理装置（多目的プラズマエッチャー）

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• その他加工機械

【ランプ寿命は長寿命】低ランニングコストで経済的！

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ダメージレス、ハイレート、大面積対応、イオンダメージを完全除去、完全ラジカル処理を実現。高性能プラズマアッシング装置

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ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや両面処理に、コンパクトタイプＣｔｏＣエッチング装置

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非球面レンズのＤＬＣ膜の除去に実績豊富なプラズマクリーニング装置。高付加価値金型のリペアに必須のドライ除膜装置

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• プラズマ表面処理装置

シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから１ｍ□基板まで対応。Ｓｉ系、メタル、有機膜、各種薄膜のダメージレスエッチング

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H2（水素プラズマの還元力で各種基板表面クリーニング。表面酸化層除去効果で親水性・濡れ性向上。ドライ・常温処理の新表面洗浄技術

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• その他表面処理装置

新プラズマ源ＨＣＤ（ホローカソード放電）電極搭載、各種メタルやＣｕ薄膜のエッチングに対応。大面積化も容易な新型エッチング装置.

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• プラズマ表面処理装置

【展示会出展！】BGA基板、リードフレームの表面改質に好適！独自システムの採用により、真空RIEプラズマに近い処理効果を実現！

• アッシング装置

洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング装置)・ストリッパー(ストリッピング装置)

• オゾン発生装置
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• その他半導体製造装置

切削加工/金属加工

• エッチング装置
• イオン注入装置
• アッシング装置

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』

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瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』

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