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更新日:2025年07月10日 集計期間:2025年07月02日〜2025年07月08日 ※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
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コンパクトなサイズ(1インチ〜2インチ)対応のMBE装置です。
金属ベローズは各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。
保存・供給安定性、濡れ性、耐熱性等の問題点を解決!次世代環境対応!
光学用真空蒸着装置の回転系に滑らかな回転をもたらし、歩留まりの向上と回転系部品の長寿命化を達成します。
樹脂レンズへの成膜に最適!大量生産を高次元で実現する光学薄膜用蒸着装置です。
高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ(Φ4inch用) 4元マルチスパッタ(Φ6, 8inch用)
【※全185種をラインナップ・在庫!】長時間の蒸着でもフィルム汚染が起こらない!高品質な薄膜形成ができる蒸着ボート
無機層と高分子層を積層することで、デバイスやプラスチックフィルムに高いガスバリア性と曲げ、引張に対する耐性を付与します。
ビューラー・ライボルトオプティクスの光学用スパッター装置
TELEMARK電子銃シリーズ
メンテナンス性・作業性が簡便!リフトオフ成膜機構には特殊遮熱機構を採用!
HFC冷媒ガス無使用
ほぼ真空にした空間で薄膜を形成する成膜技術!真空蒸着の原理についてご紹介
精密品から海上輸送の大型構造物まで、非鉄金属加工のスペシャリスト!
蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570mmトールチャンバー採用 蒸着時の均一性向上に寄与
2台の薄膜実験装置をロードロック機構で連結。異なる成膜装置(スパッタ、蒸着、など)をロードロックでシームレスに連結
平面モノだけでなく、立体モノへの成膜もできます!ご希望の成膜箇所をお聞かせください。
無加熱成膜でも密着性が良く、充填密度の高い薄膜が形成できます
パッシベーション用MBE装置は、レーザーファセットパッシベーション等のために特別設計された各種チャンバーで構成されております。
デリケートな有機材料の処理に最適化した熱設計!蒸発物および基板への熱影響を抑制
簡単操作のTMP排気システム採用!拡張性に優れたテーブルトップ型真空蒸着装置
センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計です。16種類のガスに対応し、金属製センサーも使用!
最大1,000lpmまでの流量を確保
有機材料(有機EL、高蒸気圧材料)薄膜用に開発されたKセルタイプの蒸着源です。
有機EL用のインライン型の自動制御機能を盛り込んだ研究開発用装置です。
有機EL用の実験装置です。搬送系の操作は、PCより制御可能です。全自動式のクラスター型成膜装置の完成形です。
弊社トランスファーロッドは、マグネット方式であり、超高真空領域まで使用可能です。
お客様のニーズに合わせた種類・形状・サイズの蒸着材料をご提供しています。
目的・コストに合わせて柔軟に対応!大学・公的研究機関や基礎実験用に。
クリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着ができます!
スキャニングRHEEDを標準装備!モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着
扱いやすいデザインで各種成膜条件の制御が容易!6種類のターゲットが使用できます
~亜鉛めっき・真空蒸着・UV塗装のご案内~
シリコン系/ノンシリコン系のハンドクリーンロールなどを紹介します。
ロールtoロール生産ラインで超広幅装置をご検討のお客様へ
「過酷な環境下の使用」にも耐えるLEMOコネクタ。その信頼と実績により数多くのモデルが『半導体製造装置』に使用されています!
機能面もご満足いただける仕上がり!小ロット多種品の生産にも対応可能なライン構成
プラスチック成型品での蒸着、塗装、印刷でお困りの方いませんか?印刷・塗装・蒸着のサービスを弊社では一貫生産で行うことが可能です。
水晶振動式膜厚モニター搭載!コンパクト設計でクリーンな成膜が可能
10 -10torrの真空度も対応実績あり。お客様のご要望に沿った真空チャンバーを製造した豊富な経験があります。
高真空及び超高真空に対応可能の真空部品
製品多様真空部品-アダッブタシリーズ
配管部品は各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。
真空蒸着装置とこれらに関連する機器メンテナンスサービスを行っております。
金属表面処理や真空蒸着加工、および塗装のことならお任せ下さい!
精密ウォブルスティックは、超高真空チャンバー内の繊細な操作のために開発され、装置への損傷のリスクを最小に押さえることができます!
UHVチャンバー間でサンプルを輸送することを目的とした1軸サンプルトランスポーター!
全責任を持って一貫受註を致しております。
組合せによる透湿防水等の機能の付加加工を行い、各種産業資材として提供!
低パーティクル仕様の超高性能光学薄膜用蒸着装置です。
LED 用光学多層 DBR 膜の成膜に最適!
リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデル
メッキは環境に悪い、形状的に転写箔は使えない・・・。そんな時には直接アルミを加工してしまいましょう!
小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合わせてフレキシブルに構成
限られたラボスペースを有効活用できる小型ベンチトップサイズ装置に、最新の真空蒸着技術の全てを収納しました。
蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み立てることができるセミカスタムメイド薄膜実験装置
真空用 高温るつぼ加熱ヒーター。有機蒸着源 800℃、金属蒸着源 1500℃、としても利用できるバーサタイルなヒーターユニット
スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置 コンパクトフレームに金属蒸着・有機蒸着・スパッタカソードを設置
小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適 蒸着・スパッタ・アニール等全ての作業をグローブボックス内でシームレスに行う事ができます。
半導体・電子デバイス・燃料電池・ディスプレイなどの研究開発用各種実験装置、薄膜実験装置を紹介。
グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570mmトールチャンバー採用 蒸着時の均一性向上に寄与
真空蒸着(金属・有機蒸着源)、スパッタリングカソードの混在設置が可能な「複合型」薄膜実験装置 nanoPVD-ST15A
モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立が可能。様々な研究用途に対応可能な小型薄膜実験装置。
コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの薄膜モジュールを組込み、様々な用途に対応するマルチ薄膜装置
有機蒸着源〜800℃、金属蒸着源〜1500℃、真空用 高温加熱セルとしても使用できる高性能真空蒸着ソースです。
再生ガス・再生工程不要の新時代のガス精製装置付きグローブボックスシステム
洗練されたシンプルなグローブボックスは使う人を選ばない。再生ガス・再生工程不要の新時代のガス精製装置付き。
同じ剛性でアルミ板の1/5、鋼板の1/10の超軽量化を実現し、コスト削減に貢献するアルミハニカムパネル!
アルミの1/5の超軽量!剛性を保ちつつ大幅な軽量化を実現するアルミハニカムパネル!寸法やロットによってはコストダウンも可能です!
アルミハニカムパネルの無料サンプル&活用事例集を進呈中!同等の剛性でアルミ板の1/5、鋼板の1/10以下の重量を実現!
材料には高純度・安定した溶解が要求されます。当社では、蒸着に適した材料を提供しています!
用途や目的に応じて任意にカスタマイズ可能な真空蒸着装置
ハイレート対応、厚膜成膜、大型装置対応
ダメージレス蒸着
学薄膜や保護膜、機能膜などの膜特性を向上させることができます
長時間・多量の真空蒸着またはスパッタリングのプロセスに有効
MBEセル(蒸着源、分子線セル)はエピタキシャル膜の品質において重要です。実績豊富なRIBER社製MBEセルを紹介します。
プランゼーのタングステン・モリブデン材料を使用して製造された、最高品質真空蒸着ボートとフィラメント。
タングステン、タンタル、モリブデンなど、レアメタルの素材が購入できるWEBショップ
個人差のないカーボン蒸着が可能に! EPMA・分析SEMの前処理用として最適
ポリパラキシレン成膜に特化した装置です。メーカは35年以上、ヨーロッパでポリパラキシレン成膜及び装置販売を行ってきました。
サイリスタ制御により蒸着電圧及び、電流値の調整が可能!排気操作は全自動です
ロボットプログラムによる自動実装も可能。製造・物流でのコスト低減に!2液性と異なり、実装後すぐに使用も〇、熱処理の後工程が不要。
大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で!センサー・回路部・ディスプレイ一体型の真空計
堅牢な冷陰極型電離真空計
大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で!センサー・回路部・ディスプレイ一体型の真空計。コンパクトで設置スペースも節減!
金属、誘電及び有機膜成膜!熱蒸着装置をご紹介
有機材料と金属材料が同部屋にて成膜可能なハイブリット型成膜装置です。有機材料及び金属材料の共蒸着が可能です。
改善成功事例 事例4 有機EL成膜装置改造
【 4000台販売突破キャンペーン実施中 】 弊社トランスファーロッドは、マグネット方式であり、超高真空領域まで使用可能です。