機械要素の製品一覧
- 分類：機械要素
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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！
- その他搬送機械
パーツを組み合わせて、2m×4m級の大型パレットも製作可能。破損しても部分交換ができて経済的 ※1枚から提供可能
- パレット
再現性±1nm、XY軸100µmストローク。半導体製造装置向け高精度ナノポジショナー
- アクチュエーター
- 圧電デバイス
- 直交ロボット
顕微鏡試料のナノ精度走査に。0.1nm分解能と高リニアリティで安定した位置決めを実現
- アクチュエーター
- 圧電デバイス
- エンコーダー
SGSセンサによるドリフト補正で、光ファイバーやレーザー光学系の微細調整を安定化
- アクチュエーター
- 圧電デバイス
- ソレノイド・アクチュエータ
UHV対応・耐湿構造により、真空・高温環境下でもナノ位置決めと高速補正を安定化
- アクチュエーター
- 圧電デバイス
- ソレノイド・アクチュエータ
10kHz共振による高速補正で、レーザー制御や光通信時のビーム位置ズレを低減
- その他産業用ロボット
- 圧電デバイス
- アクチュエーター
5nm分解能と200mm/s高速応答により、半導体・光学工程の微細補正を安定化
- その他機械要素
- ソレノイド・アクチュエータ
- エンコーダー
保持力800Nと5nm分解能により、半導体検査やナノリソグラフィ工程の位置ズレを抑制
- アクチュエーター
- 圧電デバイス
- その他機械要素
チップ・チルト調整後の位置ズレを抑え、真空環境でも長時間安定保持
- アクチュエーター
- 圧電デバイス
- ソレノイド・アクチュエータ
レーザー光路や光学ミラーの微調整後も、長時間安定した位置保持を実現
- アクチュエーター
- 圧電デバイス
- ソレノイド・アクチュエータ
サブミクロン再現性と高ダイナミクス制御により、フォトニクス工程の高速位置補正に対応
- ブラシレスDCモータ
- アクチュエーター
