半導体製造装置の製品一覧

  • 分類:半導体製造装置

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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!

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  • その他搬送機械

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微細加工などに好適!従来の工具では困難とされた穴のバリ取りと両面取りをワンパスで実現!

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  • その他工作機械

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【2021年10月20日(水)~23日(土)】メカトロテックジャパン2021に出展します!

当社は、2021年10月20日(水)~23日(土)の4日間、ポートメッセなごやで 開催される「メカトロテックジャパン2021」に出展いたします。 小径0.8mmからの面取りバリ取りが可能な工具『バーオフツール』や 折損を確実に検出する工具折損検出装置『FEM』をご紹介いたします。 皆様のご来場お待ちしております。(コマ番号:2B12​)

低振動・低騒音・優れた温度安定性でレーザー装置の温度制御に最適! 消費電力も削減できます!

  • エッチング装置

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低振動・低騒音・優れた温度安定性でレーザー装置の温度制御に最適!消費電力も削減できます! 

  • エッチング装置

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低振動・低騒音ペルチェチラー『ThermoRack401』

『ThermoRack401』は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに好適です。 冷却能力400Wの当製品は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持。 駆動部はわずか2か所でささやきのような静粛性・無振動を実現し、先進的光学・ レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応可能です。 コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもち、世界中の 電源に対応のユニバーサル電源を搭載しています。 詳しくは、下記の関連製品ページまたはPDF資料をご覧ください。

低振動・低騒音・優れた温度安定性でレーザー装置の温度制御に最適!消費電力も削減できます!

  • エッチング装置

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お客様の手書きによるイメージ図やCAD図等をマスク図に変換!フォトマスク作製を行います

  • フォトマスク
  • 製造受託
  • 基板設計・製造

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2軸、3軸仕様に対応!使い勝手の良いタッチスクリーン式操作パネルを搭載!

  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他工作機械
  • その他加工機械

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主軸の複数化にも対応!機械パフォーマンスと長くトラブルのない稼働をお約束!

  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他工作機械
  • その他加工機械

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従来のフォトリソグラフィーと比較して、研究開発から量産用途まで扱いやすく高い生産性を実現するソリューションです

  • エッチング装置

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高い温度安定性と応答性のフッ素系溶液用チラー

  • その他環境機器
  • その他半導体製造装置

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扱いやすいデザインで各種成膜条件の制御が容易!6種類のターゲットが使用できます

  • 蒸着装置

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スキャニングRHEEDを標準装備!モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着

  • 蒸着装置

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今後の超薄板製品対応が可能!上部2組,下部2組でノズルユニット位置を錯角に設計されています

  • ウエハ加工/研磨装置

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フィルム材料用 Roll To Roll 自動両面露光装置

  • その他半導体製造装置

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反った基板の矯正と反り測定用検査機

  • その他半導体製造装置
  • 基板検査装置
  • 基板加工機

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フォトマスクやプリント基板の資材・設備の事ならラットコーポレーション

  • フォトマスク
  • 基板加工機
  • 解析サービス

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真空~大気環境でパーティクルレスでの熱処理を実現します。

  • その他半導体製造装置
  • 加熱装置
  • 電気炉

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