半導体製造装置の製品一覧

  • 分類:半導体製造装置

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アイソレーターをお持ちの方へ。高い薬品耐性と作業性を実現。低価格、短納期も実現可能なグローブボックス・アイソレーター用グローブ

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  • 作業用手袋

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【2026年5月20日(水)~22日(金)】「インターフェックスWeek東京」出展のご案内

株式会社イトーは、幕張メッセで開催される「インターフェックスWeek東京」に出展致します。 当展示会は、世界25の国と地域から医薬品・化粧品・再生医療の研究・製造に関するあらゆる製品・サービスが出展する展示会として、日本最大の規模で開催。 世界中から医薬品・化粧品メーカー、再生医療企業が来場します。 当社ではTron Power社製「グローブボックス/アイソレーター用グローブ」を出展致します。皆様のご来場をお待ちしております。

洗浄可能な、タッチレス(非接触)構造のバルブフィーダー!異物混入リスクを低減しました

  • フィーダー

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「有機EL用GB付きスパッタリング装置」や「研究開発用IBS装置」などの実績を保有!

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  • スパッタリング装置

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「金属容器用プラズマCVD装置」「ICP型MOCVD装置」などの実績を保有しています!

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  • CVD装置

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トレイ搬送にも対応可能!優れた基板温度分布およびガスフロー方式を実現

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  • アニール炉
  • 加熱装置

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RIEモードとDPモードの切り替えが可能!特殊表面処理によるメタルコンタミ低減

  • エッチング装置

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好適な表面処理によるパーティクル低減!ロードロック式による高真空プロセスに対応

  • 蒸着装置

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「2段階複合Pt成膜装置」などの実績を保有!ご用命の際はお問い合わせください

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  • 蒸着装置

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プラズマクリーニング室、有機蒸着室、電極蒸着室、封止室等を自由に選択できます!

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  • スクリーンショット 2021-06-23 111200.png
  • スクリーンショット 2021-06-23 111211.png
  • 蒸着装置

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基板加熱温度最高1000℃!基板表面加熱プロセス特有の元素抜けを軽減!

  • sabu.png
  • 加熱装置
  • アニール炉

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エッチング、アッシング及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れたコンパクトな装置です!

  • エッチング装置
  • アッシング装置

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【デモ機貸し出し可能!】シリコンウエハーやマスク、フィルム基板のスピン乾燥に最適!

  • その他クリーンルーム用機器・設備
  • その他半導体製造装置

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【デモ機貸し出し可能!】Φ300まで対応可能なカセットタイプのバッチ式洗浄装置です

  • その他半導体製造装置

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【デモ機貸し出し可能!】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗浄装置です

  • その他半導体製造装置

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【デモ機貸し出し可能!】一連の洗浄・エッチング処理を行い、純水処理・乾燥までを処理する装置です

  • エッチング装置

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【デモ機貸し出し可能!】処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理する半自動装置

  • エッチング装置

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【デモ機貸し出し可能!】ウエハーは専用のバレルに装填され処理されます

  • エッチング装置

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