25枚のウェハを、１度にキャリアやボートに移載させる装置
キャリアに挿入された25枚のウェハを、１度にキャリアやボートに移載させる装置です。※オリフラあわせ機能内蔵。異なるウェハ厚さ（275～600um）混在可能で、高速スループット25秒／回を実現しました。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特長】 ○抜群の使い勝手 →必要な操作は全てタッチパネルでの操作（非常停止ボタン除く） ○高メンテナンス性 →専用装置が多い半導体業界において、PLCやサーボモーター、スライダー等汎用品を用いて実現 →専用部品を使わない為、故障時の早期復旧が可能 ○低コスト →専用装置と比べて安価なイニシャルコストで同様の機能を実現 →保守部品や交換部品も汎用品の為、ランニングコストを抑える事が可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください
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