半導体製造装置の製品一覧

  • 分類:半導体製造装置

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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!

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  • その他搬送機械

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室温から-13°Cの強冷風!ご使用環境によりコンボタイプかセパレートタイプを選択可能!

  • 冷却装置

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2024/4/10(水)~2024/4/12(金)名古屋 ものづくり ワールド 2024出展のご案内

三和式ベンチレーター株式会社は、ポートメッセなごやで開催される 2024ものつくりワールド(名古屋)に出店いたします。 弊社も大型冷風機、涼暖ビエントの展示をおこないます。 日時:2024/4/10~2024/4/12    開場:AM10:00~ 場所:名古屋ポートメッセ(第1展示会場) ※弊社ブース:19-1 お時間が御座いましたら、ご来場頂ければ幸いです。

φ2"~φ6"基板対応卓上型マニュアル式!ディスペンサー付

  • コーター
  • その他半導体製造装置

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300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式!

  • コーター
  • その他半導体製造装置

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現像液温度精度±1℃。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応!

  • コーター
  • その他半導体製造装置

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対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します!

  • コーター
  • その他半導体製造装置

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省スペースなスピンコーター 排気装置もこの一台に内包 インナーカップ方式

  • コーター
  • その他半導体製造装置

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2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄!

  • コーター
  • その他半導体製造装置

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【無料配布中】自動エッチング装置や自動基盤用現像装置の総合カタログ

  • ウエハ加工/研磨装置

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3軸多関節クリーンロボットと単軸ロボットの組み合わせで構成!

  • その他半導体製造装置

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高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置

  • レジスト装置

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高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置

  • レジスト装置

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カスタマイズOK!素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可能です。

  • その他半導体製造装置

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「XeF2エッチング装置」「バッチ式アッシング装置」などの実績を保有しています

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  • エッチング装置

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CVD室、蒸着室、プラズマクリーニング室等の組み合わせも対応可能です!

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  • スパッタリング装置

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立体物成膜での高いカバレッジを実現! 最大3台のスパッタカソードを搭載し、金属膜、酸化膜等の積層成膜が可能です!

  • スパッタリング装置

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相談だけでも歓迎!設計から製作、組立まで自社で一貫して対応!各種装置製造でお困りの方は是非ご相談ください。※製作事例資料進呈中

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  • スパッタリング装置

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