半導体製造装置の製品一覧

設計から製造、メンテナンスまで一貫対応いたします！

• 製造受託

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

高効率高周波電源【ローコスト・省電力・コンパクト設計】600W以上の耐反射能力を持ち、短絡・開放の急激な負荷変動に耐えます

• CVD装置

ウェーハ温度分布計測に必要不可欠なツール

• 半導体検査/試験装置
• 温湿度関連測定器

ダイレクト式の大気圧プラズマ装置でフィルム両面を連続で表面処理が可能。空気をプラズマ化し大面積処理が可能(～1000mm)！

• その他半導体製造装置
• その他表面処理装置

極薄板溶接40年の経験と確かな技術力　精密溶接加工実績【ステンレス】

• その他半導体製造装置
• シール・密封
• 加工受託

極薄板溶接40年の経験と確かな技術力　精密溶接加工実績【精密部品溶接】

• その他半導体製造装置
• シール・密封
• 加工受託

極薄板溶接40年の経験と確かな技術力で高品質の溶接をご提供

• その他半導体製造装置
• シール・密封
• 加工受託

フルオートACF実装ライン　カメラモジュール等に最適

• ボンディング装置
• マウンター
• その他組立機械

室温・大気圧下で高品質な薄膜を形成！電着による塗布とX-Yロボットで高効率を実現！

• コーター

一括処理で時間短縮&コスト削減！　少量の粉体・微小な部材の表面改質に！

• その他粉体機器
• その他半導体製造装置

PET Filmの前処理　&　Filmの熱収縮の調整　＆ITO膜の連続結晶化

• コーター
• 真空機器
• 加工受託

一つのチャンバーに基板を搭載して生産する方式

• スパッタリング装置
• コーター
• ステッパー

平板ガラス基板の上に薄膜をコーティングする装備

• スパッタリング装置
• コーター
• ステッパー

Flexible Display用など機能性Film製造用Coating装備

• スパッタリング装置
• コーター
• ステッパー

低価格、しかも高性能なWet処理装置のことなら、弊社にお任せください。

• ウエハー
• レンズ
• ウエハ加工/研磨装置

純度が高く耐薬品性に優れたウールです。

• その他半導体製造装置
• ガラス器具・容器
• その他環境機器

ノッチレスウェーハにも対応した450mm新型アライナ

• その他半導体製造装置

ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応　卓上ローダーシステム

• その他半導体製造装置

短納期・緊急品対応！他社様の短納期タクトより20％以上早くお届けします！

• 内装部品
• その他機械要素
• その他半導体製造装置

○2インチ等小口径にも対応○　1枚あたり0.5リッタの純水で洗浄可能！

• その他半導体製造装置

ウエハのポストCMP洗浄に最適！特殊洗浄で高度なクリーン度を実現。

• ウエハ加工/研磨装置
• ブラシ

MOCVD装置　VEECO　K465i G2

• CVD装置
• その他半導体製造装置

マルチヘッドで連続熱圧着　安定した温度プロファイルを実現

• ボンディング装置

マルチヘッドで連続熱圧着　キャリア搬送で効率的なハンドリング

• ボンディング装置

複数ワークへ連続貼り付け　キャリア方式により後工程へスムーズに移行

• その他半導体製造装置
• その他実装機械
• その他組立機械

R&Dや小ロット生産に最適　長さ100mmまで貼り付け可能。

• その他実装機械
• その他組立機械
• ボンディング装置

R&Dや小ロット生産に最適　長さ60mmまで貼付可能。

• その他実装機械
• その他組立機械
• ボンディング装置

R&Dから量産まで、幅広いプロセスに対応するACF熱圧着装置

• ボンディング装置

大型マシニング加工、精密機械部品加工のことならお任せください。

• その他半導体製造装置
• 加工受託
• その他機械要素

乾式で『粉体や固体全面』の『表面改質(親水・洗浄・密着強化)』を一括処理できる回転プラズマ装置！新技術開発・コスト削減に貢献

• その他半導体製造装置

あらゆるスラリーに適合し、難削材の両面同時研磨に最適です。

• ウエハ加工/研磨装置

コンパクトなサイズ（１インチ〜２インチ）対応のMBE装置です。

• 真空機器
• 半導体検査/試験装置
• 蒸着装置

電熱機器のエキスパートとしてお客様の加熱工程をトータルサポート

• その他ヒータ
• 加熱装置
• その他半導体製造装置

CCDカメラによる画像処理自動整合システムを搭載

• ステッパー

全自動全面一括露光が可能なオートアライナー装置をラインアップ

• ステッパー

両面アライメントと、プロキシミティおよびソフトコンタクト露光が可能

• ステッパー

光源と光学系技術の開発・応用力の粋を集めた各種ランプのご案内です。

• ステッパー
• ランプ・発光素子
• その他光学部品

フレキシブルプリント基板（FPC）の回路形成を行うための装置

• ステッパー

搬送系はローラコンベア方式でインラインとして利用可能！

• ステッパー

フレネルレンズを搭載した高精度露光装置です。

• ステッパー

平行光露光装置のラインナップのご案内です。

• ステッパー

フレキシブルプリント基板(FPC)用の高精度片面露光装置

• その他半導体製造装置
• レジスト装置

フレキシブルプリント基板(FPC)用の高精度両面露光装置

• その他半導体製造装置
• レジスト装置

FPD製造工程で威力を発揮するフィルム用整合付半自動露光装置

• その他半導体製造装置
• レジスト装置

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

• レジスト装置
• ステッパー
• その他半導体製造装置

顕微鏡オート移動など､生産性､使い勝手に優れたアライナ

• レジスト装置
• ステッパー
• その他半導体製造装置