特殊ポンプの製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

センサ

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直径３０ｍｍ程度～8インチまで対応可能　高抵抗FZウエハ

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株式会社エナテック東京本社

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

その他半導体
加工受託
ウエハー

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エアー駆動低脈動ベローズポンプ FLP 『ダンパー不要で低脈動』

低脈動移送が可能で付加追従性が向上！エアー消費量を最大30%削減

容積型ポンプ
特殊ポンプ

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ケミカルギヤポンプ GM-J 『次亜塩素酸ナトリウム移送専用』

ガスロックによる注入不良を解消次亜塩素酸ナトリウム微少流量移送専用

容積型ポンプ
特殊ポンプ

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シャーポンプ WSP 『撹拌・混合・均質化と送液が同時に可能』

液の撹拌・混合・均質化・ブレンド・チョッピングなどの加工処理が可能

その他ポンプ
特殊ポンプ

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薬液補充ポンプ CFD 『半導体プロセスの強酸・強アルカリ補充』

1shot当り1mL、分注性能が大幅に向上。ウエハー洗浄液の濃度管理に最適です。

容積型ポンプ
特殊ポンプ

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エアー駆動ディスペンサー SB 『レジスト塗布工程に最適』

半導体製造プロセスにレジスト塗布工程に最適。

容積型ポンプ
特殊ポンプ

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ディスペンスポンプ VMP 『高圧吐出で完全自給式』

信頼のハイセラポンプを自動制御。二元制御式駆動アクチュエータを組み合わせたディスペンスポンプ

容積型ポンプ
2次電池・バッテリー
特殊ポンプ

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フォトレジストディスペンスポンプ PDS 『大幅な省レジスト』

再現性±0.3%（F.S.）以下、大幅な省レジストを実現

レジスト装置
特殊ポンプ
その他ポンプ

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小型液体ダイヤフラムポンプ HSR-03/06/09/15

流量可変機能・駆動回路内臓モータを採用、コンパクトな高圧液体移送ダイヤフラムポンプ

容積型ポンプ
特殊ポンプ

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【出展情報】JASIS 2025　最先端科学・分析システム&ソリューション展

2025年9月3日より幕張メッセ国際展示場にて開催される「JASIS 2025」に出展いたします。

スクリューポンプ NFA-T 『高濃度スラリーや高粘度液を移送』

優れた耐久性と経済性。水処理設備・製紙・化学工業などで幅広く活躍

容積型ポンプ
特殊ポンプ

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エアー駆動ダイヤフラムポンプ TCA501BW 『固形物を移送』

大きな固形物やスラリー・スラッジの移送が可能。

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自吸式ゴムライニングスラリーポンプ『ラバーセルポンプ』

株式会社みつわポンプ製作所

研磨液・ケミカルスラリーの移送用途に好適！耐摩耗性・耐腐食性に優れたポンプ

特殊ポンプ

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遠隔操作付『エンジンポンプ』

トーハツ株式会社本社／国内事業部・防災販売課

LPG・天然ガス・水素ガスプラントの冷却設備におすすめ。定置型全自動散水システムです。

特殊ポンプ

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空気圧駆動式ダイヤフラムポンプ「TD/TD2シリーズ」

株式会社Parker TAIYO

広範囲な液体に対応する、空気圧駆動式のダイヤフラムポンプです

その他ポンプ
空圧機器
特殊ポンプ

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TAIYO 電動ダイヤフラムポンプ「ETD3シリーズ」新発売

省エネルギーでクリーンな環境での使用性の高い高効率規制対応のモータ搭載した電動ダイヤフラムポンプが新登場

モーター駆動薬液定量注入ポンプ　HTXシリーズ

株式会社エイチツー

樹脂カバーでサビをシャットアウト

特殊ポンプ

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【納入事例】外壁塗装の高粘度塗料を無脈動圧送

株式会社エイチツー