真空機器 | イプロスものづくり

工場用マットスイッチ　工場の危険エリアの立ち入り防止に！

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１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

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直径３０ｍｍ程度～8インチまで対応可能　高抵抗FZウエハ

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株式会社エナテック東京本社

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直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

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均等排気バルブ　SERIES 67.0

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SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封止用バルブ。高度なエッチングプロセスに最適。

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高真空ゲートバルブ　SERIES 09.1

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0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能な高真空ゲートバルブ

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真空ゲートバルブ　SERIES 12.1

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VATLOCKシステムの真空ゲートバルブ

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高真空シリンダーバルブ SERIES25.0/25.1/25.2

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フルコンダクタンスが可能な高真空シリンダーバルブ

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UHVアングルバルブ　Series 28.4

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腐食性ガスにも対応！

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コントロールゲートバルブ　Series 64.2

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極めて短い制御応答時間、かつ、コンパクトなデザインで使いやすい

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ソフト排気用アングルバルブ　Series 29.0

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大きな差圧に対応可能！

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バタフライコントロールシステム　Series 61.2

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CVDなどの高速で高度なプロセスに最適な圧力制御用バルブ

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大型ドアー L-VAT　Series 07.8

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優れたパーティクル性能を備えたショックフリーL-MOTIONバルブ

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大型角型ゲートバルブ FLAPVAT　Series 06.8

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短い開閉時間による高いスループット

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大型角型ゲートバルブ SOLVAT　Series 06.6

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過酷なプロセスおよび高温に対応した設計

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大型角型ゲートバルブ TWINVAT　Series 06.1

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軽量コンポーネントによる高速動作が可能な大型角型ゲートバルブ

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振子式バルブコントロールシステム　Series 65.0

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特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適なコントロールバルブ

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振子式高真空バルブ　Series 16.2

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コンパクトな真空封止用バルブ

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高真空アングルバルブ（ベローズ軸シール）Series 26.4

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高真空アプリケーションの排気、ベント用のアングルバルブ

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真空機器の製品一覧

工場用マットスイッチ　工場の危険エリアの立ち入り防止に！

直径３０ｍｍ程度～8インチまで対応可能　高抵抗FZウエハ

均等排気バルブ　SERIES 67.0

高真空ゲートバルブ　SERIES 09.1

真空ゲートバルブ　SERIES 12.1

高真空シリンダーバルブ SERIES25.0/25.1/25.2

UHVアングルバルブ　Series 28.4

コントロールゲートバルブ　Series 64.2

ソフト排気用アングルバルブ　Series 29.0

バタフライコントロールシステム　Series 61.2

大型ドアー L-VAT　Series 07.8

大型角型ゲートバルブ FLAPVAT　Series 06.8

大型角型ゲートバルブ SOLVAT　Series 06.6

大型角型ゲートバルブ TWINVAT　Series 06.1

振子式バルブコントロールシステム　Series 65.0

振子式高真空バルブ　Series 16.2

高真空アングルバルブ（ベローズ軸シール）Series 26.4

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