CVD装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

MOCVD、フィルター、AIXTRON、LED、中国産、高温真空粉塵濾過、

• 電気炉
• CVD装置
• 真空機器

配管部品は各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

• 真空機器
• CVD装置
• 蒸着装置

高効率高周波電源【NR3N-13】【NR3N-13】

• CVD装置

厚膜形成用プラズマCVD装置。高速かつ低ストレス（特許出願中）

• CVD装置

金属ベローズは各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

• 真空機器
• CVD装置
• 蒸着装置

大口径シール

• CVD装置
• 蒸着装置
• その他半導体製造装置

ガス配管コンポーネント保護用ガスケット付きメタルフィルター

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

常に安定した状態で0.003μmの高濾過精度を有するガスフィルターを開発

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

高濾過精度

• CVD装置
• ステッパー
• ガスフィルタ

濾過精度

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

SPCシリーズは超小型（φ21×84mm）、軽量（90g）に設計されております。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

コンパクトな構造・高精度にして低価格

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• 丸型コネクタ

ハロゲン系反応性腐蝕性特殊ガスに対し、耐蝕性が非常に高く極めて優れた性能を発揮いたします。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

歩留まりを大幅に向上

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

幅広い濾過精度に対応

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ