CVD装置の製品一覧

電池の基本概念から、利用目的・実現方法による分類までを体系化。複雑な電池選定の第一歩を、初心者目線で分かりやすくまとめました

• 電池・バッテリー
• 技術書・参考書
• 技術書・参考書

静電式により高い捕集率を実現。大型から小型まで豊富なラインアップを展開。水溶性オイルミストにも対応

• 空調

真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動を伝達する導入機です。

• スパッタリング装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

ビューイングポートへの蒸着保護および光・ビームの遮断にご利用ください。

• CVD装置
• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

真空チャンバーを製作いたします

• CVD装置
• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

アルミ五軸加工　大阪【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

超薄反りウエハを触らずにつかむ非接触搬送装置

• その他半導体製造装置
• CVD装置
• 加熱装置

大阪　切削量産　旋盤加工・マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

アルミ精密部品　旋盤加工　マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• エッチング装置
• 半導体検査/試験装置

アルミ精密加工　大阪　【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

五面五軸加工　半導体製造装置部品【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• 半導体検査/試験装置
• エッチング装置

アルミ半導体装置部品加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

半導体製造装置の旋盤加工品　A5052　丸【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置

半導体製造装置の精密部品　【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置

半導体製造装置　フライス加工　アルミ精密部品　 【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• その他半導体製造装置

高純度を要求される半導体製造工程でのイオン注入には多数のカーボンが使用されます。その高純度カーボンのご紹介です。

• ファインセラミックス
• イオン注入装置
• CVD装置

粒子専用のALD（原子層堆積 Atomic Layer Deposition）装置　 ナノスケールの粒子を成膜できます。

• リチウムイオン電池
• CVD装置
• その他表面処理装置