CVD装置の製品一覧

フレコンバッグやドラム缶など粉体容器の設置・後処理の負担軽減！異物混入も防ぎ、省人化も実現

• 粉体搬送装置
• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

3.0x3.0mmから10.0x10.0mmまでのサイズをラインアップしています！

• CVD装置
• その他

・標準サイズの製品が多数・Easy installation 簡単設置 ・精密焼結拡散接合 （ 同時焼結 ） ・高い流量

• CVD装置

アルミ加工　アルマイト処理　大阪【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• スパッタリング装置
• CVD装置
• 蒸着装置

ステンレス加工　フライス加工　【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】　

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

横の許容は+0.2/0-0mm、厚さの許容は+/-0.05mm！電子グレードCVDについてご紹介します

• CVD装置
• その他

3.0x3.0mmから10.0x10.0mmまでのサイズをラインアップしています！

• CVD装置
• その他

側面粗さRaは、研磨済み、Ra＜5nm！光学グレード単結晶をご紹介します

• CVD装置
• その他

0.25mmと0.50mmの厚みをラインアップ！多結晶メカニカルのご紹介です

• CVD装置
• その他

1,000W/mKから2,000W/mK以上までの熱伝導率を設計！多結晶サーマルをご紹介します

• CVD装置
• その他

商業的使用に好適！非常に安定性があり、予測可能な特性と挙動を持っています

• CVD装置
• その他

横の許容範囲は+0.1/0-0mm！単結晶メカニカルをご紹介します

• CVD装置
• その他

真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動を伝達する導入機です。

• スパッタリング装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

ビューイングポートへの蒸着保護および光・ビームの遮断にご利用ください。

• CVD装置
• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

真空チャンバーを製作いたします

• CVD装置
• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

アルミ五軸加工　大阪【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

超薄反りウエハを触らずにつかむ非接触搬送装置

• その他半導体製造装置
• CVD装置
• 加熱装置

大阪　切削量産　旋盤加工・マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

アルミ精密部品　旋盤加工　マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• エッチング装置
• 半導体検査/試験装置

アルミ精密加工　大阪　【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

五面五軸加工　半導体製造装置部品【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• 半導体検査/試験装置
• エッチング装置

アルミ半導体装置部品加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

半導体製造装置の旋盤加工品　A5052　丸【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置

半導体製造装置の精密部品　【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置

半導体製造装置　フライス加工　アルミ精密部品　 【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• その他半導体製造装置

高純度を要求される半導体製造工程でのイオン注入には多数のカーボンが使用されます。その高純度カーボンのご紹介です。

• ファインセラミックス
• イオン注入装置
• CVD装置

粒子専用のALD（原子層堆積 Atomic Layer Deposition）装置　 ナノスケールの粒子を成膜できます。

• リチウムイオン電池
• CVD装置
• その他表面処理装置

3種類の堆積装置をラインアップ！用途に合わせてお選びください

• CVD装置

50CCから60L容量までのALDやMOCVD用途、SUS製カスタマイズ容器

• CVD装置
• その他半導体製造装置

高い赤外線透過率をもつＤＬＣ膜をハイレートで基板両面に形成。 安定のハードと先進のソフトで次世代のＩＲコーティングを実現

• プラズマ表面処理装置
• プラズマ発生装置
• CVD装置

装置サイズを可能な限りコンパクト化！安定した成膜処理と低パーティクルを実現

• CVD装置

SiCトレーを採用！搬送システムで、大量生産を可能にするとともにコストを抑えた装置

• CVD装置

各種各様の素材・規格に対応可能でございます。

• シール・密封
• CVD装置
• 蒸着装置

炉のスライド移動による急冷機構を搭載

• その他理化学機器
• CVD装置

AtomSpectraDBViewer 高速便利に検索！新バージョン登場！

• CVD装置
• 化学薬品
• 分光分析装置

3インチウェハ対応！コンパクトな設計となっており省スペース化を実現しました

• CVD装置

簡単に試料セットする事が可能！外部ビューポートよりYAGレーザーを入射し成膜ができます

• CVD装置

サンプルMAXサイズ10mm口！耐熱、断熱セラミック研究用途でご利用いただけます

• CVD装置

漏洩マイクロ波検出用も付属！試料の取付は、下部よりモーターによる上下機構で交換

• CVD装置

高電圧リレー

• CVD装置
• 蒸着装置
• スイッチ

高品質、低価格

• CVD装置
• イオン注入装置
• その他半導体製造装置

【 4000台販売突破キャンペーン実施中 】 弊社トランスファーロッドは、マグネット方式であり、超高真空領域まで使用可能です。

• 蒸着装置
• スパッタリング装置
• CVD装置

ポリパラキシレン（パリレン）とALD(原子層堆積法）による無機酸化物層を交互に積層します。

• CVD装置

コンパクトで省電力！デバイス作成向け単結晶高純度ダイヤモンド合成実験用プラズマCVD装置

• CVD装置

高電圧パルス放電用セラミックコンデンサ

• CVD装置
• エッチング装置
• コンデンサ

仕上り加工外径はφ12.7 摩擦圧接と電子ビーム溶接の複合加工です。 異種金属の接合が可能

• CVD装置
• その他半導体製造装置
• 管継手