CVD装置の製品一覧

サンプルプレゼント！260℃までＯＫ！500回以上繰り返して使える高耐久性！

• そのほか消耗品

最大1200℃まで耐熱。作業環境の安全を守る高性能な保温カバーを、オーダーメイドで製作いたします！

• ガラス

3種類の堆積装置をラインアップ！用途に合わせてお選びください

• CVD装置

高い赤外線透過率をもつＤＬＣ膜をハイレートで基板両面に形成。 安定のハードと先進のソフトで次世代のＩＲコーティングを実現

• プラズマ表面処理装置
• プラズマ発生装置
• CVD装置

装置サイズを可能な限りコンパクト化！安定した成膜処理と低パーティクルを実現

• CVD装置

SiCトレーを採用！搬送システムで、大量生産を可能にするとともにコストを抑えた装置

• CVD装置

各種各様の素材・規格に対応可能でございます。

• シール・密封
• CVD装置
• 蒸着装置

炉のスライド移動による急冷機構を搭載

• その他理化学機器
• CVD装置

AtomSpectraDBViewer 高速便利に検索！新バージョン登場！

• CVD装置
• 化学薬品
• 分光分析装置

3インチウェハ対応！コンパクトな設計となっており省スペース化を実現しました

• CVD装置

簡単に試料セットする事が可能！外部ビューポートよりYAGレーザーを入射し成膜ができます

• CVD装置

サンプルMAXサイズ10mm口！耐熱、断熱セラミック研究用途でご利用いただけます

• CVD装置

漏洩マイクロ波検出用も付属！試料の取付は、下部よりモーターによる上下機構で交換

• CVD装置

高電圧リレー

• CVD装置
• 蒸着装置
• スイッチ

高品質、低価格

• CVD装置
• イオン注入装置
• その他半導体製造装置

【 4000台販売突破キャンペーン実施中 】 弊社トランスファーロッドは、マグネット方式であり、超高真空領域まで使用可能です。

• 蒸着装置
• スパッタリング装置
• CVD装置

ポリパラキシレン（パリレン）とALD(原子層堆積法）による無機酸化物層を交互に積層します。

• CVD装置

コンパクトで省電力！デバイス作成向け単結晶高純度ダイヤモンド合成実験用プラズマCVD装置

• CVD装置

高電圧パルス放電用セラミックコンデンサ

• CVD装置
• エッチング装置
• コンデンサ

仕上り加工外径はφ12.7 摩擦圧接と電子ビーム溶接の複合加工です。 異種金属の接合が可能

• CVD装置
• その他半導体製造装置
• 管継手

日本発のまったく新しいガスイオン注入も可能なDLCコーティング装置です。

• プラズマ発生装置
• CVD装置
• プラズマ表面処理装置

パルスパワーの出力リターン線に、栗田製作所は銅平板をご提案させていただきます。　

• CVD装置
• イオン注入装置
• 電源

熟練したリターン技術による、安定放電が可能な直流(充電）電源です。

• その他電源
• その他プロセス制御
• CVD装置

安定したパルス放電を実現

• プラズマ発生装置
• CVD装置
• 電源

1000mm*1000mm*1000hの真空チャンハ゛ーです。材質SUS304 使用環境:真空　

• CVD装置

グレードによっては、プライマーとトップコートの間にミドルコートがあります。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

大東化成では、フッ素樹脂コーティング、フッ素樹脂ライニングを主軸に、さまざまな表面処理加工を専門に行っております。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

フッ素樹脂の種類3　FEP (4フッ化エチレン6フッ化プロピレン共重合体)

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

フッ素樹脂コーティング

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

フッ素樹脂コーティングは、何度でも再コーティングが可能です。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

当社施工実績の一部をご紹介。フッ素コーティング施工事例2　各種工業製品

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

当社施工実績の一部をご紹介。フッ素コーティング施工事例1　食品製造製品

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

フッ素樹脂コーティング以外で、すべての用途を満たすことができるでしょうか？

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

大東化成では、8A～25A等の細い配管内面に、フッ素樹脂コーティング及びフッ素樹脂ライニングが可能です。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

パイプが細い分、短時間で接着剤が詰まったり、短時間で腐食したりするのは解決できます！

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

ポリウレタンコーティングの施工基準

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

フッ素樹脂ライニングとは・・・・厚い膜。塗膜を重ねるなど。弊社では、400μ以上を、フッ素樹脂ライニングとしております。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

フッ素樹脂の種類2　PFA (4フッ化エチレンパーフロロプロピルビニルエーテル)

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

大東化成では、フッ素樹脂コーティング、フッ素樹脂ライニングを主軸に、さまざまな表面処理加工を専門に行っております。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

空気噴流によりワークを非接触にて懸垂搬送! ベルヌーイチャック

• ウエハー
• CVD装置
• 多関節ロボット