スパッタリング装置の製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

• その他半導体
• 加工受託
• ウエハー

500～1200ｍｍサイズの加工を得意とし、1000分台の精度保証対応が可能です。まずはご相談ください。

• ステッパー
• スパッタリング装置
• 半導体検査/試験装置

切削加工/金属加工

• スパッタリング装置
• アニール炉
• レジスト装置

逆スパッタも可能！500Wの高周波電源を1台搭載し、金属・酸化物・絶縁物等の成膜が可能です

• スパッタリング装置

プランゼーの高機能材料（タングステン・モリブデン）製品がオンラインで購入できます。板、棒、ワイヤー、蒸着部品、ヒートシンクなど

• 非鉄金属
• 工業炉
• スパッタリング装置

CNC旋盤加工・アルミ精密切削・半導体製造装置部品【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• スパッタリング装置
• CVD装置
• イオン注入装置

A5056／旋盤加工／アルミ加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

アルミ切削／A5052／旋盤加工／大阪【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• スパッタリング装置
• 半導体検査/試験装置

半導体業界や太陽電池業界(PV)向けに、ポリシリコーンは原材料として使用。素材：ニッケル合金 プロセス:フィルター

• スパッタリング装置

■長所 ・ご要望に合わせたオーダーメイド ・均一な気体の拡散 ・標準コネクタエレメント

• スパッタリング装置

単一基板に数100条件の組成分布を形成。有効成膜エリアは1辺25mmの正三角形です

• スパッタリング装置

1辺25mmトライアングルの有効エリア！単一基板に数百条件分の組成分布を形成します

• スパッタリング装置

アルミ加工　アルマイト処理　大阪【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• スパッタリング装置
• CVD装置
• 蒸着装置

真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動を伝達する導入機です。

• スパッタリング装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

磁気結合式直進回転導入機（MFL）を取り付ける際の軸差および角度調整に！

• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

ビューイングポートへの蒸着保護および光・ビームの遮断にご利用ください。

• CVD装置
• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置