スパッタリング装置の製品一覧

  • 分類:スパッタリング装置

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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!

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多機能・コンパクト・フレキシブル対応、実績と信頼の標準型ラインナップ

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新しい成膜方法をお考えのエンジニア必見!樹脂基板への金属膜、保護膜を全自動で成膜

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コンパクト・ローコスト・充実機能、研究開発用ローコストスパッタリング装置 サンプルテスト&装置見学対応中

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手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種 簡易ロードロックタイプで化合物半導体量産プロセスを実現 サンプルテスト&装置見学対応中

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  • プラズマ表面処理装置

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小径基板専用のコンパクトタイプスパッタリング装置 全手動操作で低コスト化を実現。研究実験専用の標準タイプ

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  • スパッタリング装置

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φ410基板×4枚の自公転基板台を4枚備えたバッチ型のスパッタリング装置で、同基板台内±5%以内の優れた膜厚均一性を実現

  • スパッタリング装置

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対応基板は最大φ1インチまで処理が可能!デュアルガスノズルを備えた装置

  • スパッタリング装置

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イオンソースを搭載した実験用装置 精密光学の超薄膜多層成膜に活用可能

  • スパッタリング装置

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RFイオンソースを使用し、シングルステージまたはプラネタリーステージを搭載したイオンビームスパッタリング(IBS)装置です。

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【 4000台販売突破キャンペーン実施中 】 弊社トランスファーロッドは、マグネット方式であり、超高真空領域まで使用可能です。

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表面改質から触媒利用まで!成膜事例付きで密着性が高い粉体スパッタ技術をご紹介!

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お客様ご依頼サンプルによる受託成膜、立会実験にも対応いたします!

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ガス導入と圧力コントロールバルブによるスパッタ圧の制御が可能!

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